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[實用新型]一種教學型濺鍍儀有效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201821774552.8 申請日: 2018-10-23
公開(公告)號: CN209543736U 公開(公告)日: 2019-10-25
發(fā)明(設(shè)計)人: 熊啟紅;黃大剛 申請(專利權(quán))人: 蘇州海茲思納米科技有限公司
主分類號: G09B25/02 分類號: G09B25/02
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 215000 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖*** 國省代碼: 江蘇;32
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 活動板 連接螺栓 真空室 轉(zhuǎn)軸 桌臺 本實用新型 工件放置槽 裝置本體 安裝孔 固定桿 固定臺 連接板 連接軸 伸縮桿 濺鍍 底座 教學 底部四角處 固定桿頂部 螺栓 氬氣 金屬靶材 緊密連接 密閉狀態(tài) 裝置設(shè)置 放電器 固定板 固定塊 輸送管 輸送器 固緊 支撐
【權(quán)利要求書】:

1.一種教學型濺鍍儀,包括裝置本體(1)、桌臺(2)、固定桿(3)、伸縮桿(4)、固緊螺栓(5)、固定塊(6)、氬氣輸送器(7)、真空室(8)、活動板(9)、工件放置槽(10)、連接螺栓(11)、輸送管(12)、真空室固定臺(13)、底座(14)、連接軸(15)、固定板(16)、轉(zhuǎn)軸(17)、金屬靶材(18)、連接板(19)、支撐塊(20)和放電器(21),其特征在于:所述裝置本體(1)包括桌臺(2),所述桌臺(2)底部四角處均設(shè)置有固定桿(3),所述固定桿(3)頂部均設(shè)置有伸縮桿(4),所述伸縮桿(4)頂部與所述桌臺(2)底部四角處固定連接,所述桌臺(2)頂部設(shè)置有氬氣輸送器(7),所述氬氣輸送器(7)頂部中間固定安裝有底座(14),所述氬氣輸送器(7)頂部固定安裝有真空室固定臺(13),所述真空室固定臺(13)頂部固定安裝有真空室(8),所述真空室(8)內(nèi)部一側(cè)設(shè)置有金屬靶材(18),所述真空室(8)一側(cè)固定安裝有連接板(19),所述金屬靶材(18)一側(cè)設(shè)置有若干個放電器(21),所述底座(14)頂部設(shè)置有活動板(9)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種教學型濺鍍儀,其特征在于:所述固定桿(3)頂端一側(cè)設(shè)置有固緊螺栓(5),固定桿(3)底部均固定安裝有固定塊(6),固定桿(3)與伸縮桿(4)之間通過固緊螺栓(5)固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種教學型濺鍍儀,其特征在于:所述真空室固定臺(13)位于底座(14)的一側(cè),真空室(8)與氬氣輸送器(7)之間通過輸送管(12)連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種教學型濺鍍儀,其特征在于:所述底座(14)頂部兩端均固定安裝有固定板(16),兩個固定板(16)之間活動連接有轉(zhuǎn)軸(17),活動板(9)一側(cè)固定安裝有連接軸(15),連接軸(15)與轉(zhuǎn)軸(17)活動連接,真空室(8)底部一端固定安裝有支撐塊(20)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種教學型濺鍍儀,其特征在于:所述連接板(19)頂部和活動板(9)一端均設(shè)置有安裝孔,活動板(9)底部一端設(shè)置有連接螺栓(11)。

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