[實用新型]一種基于顯影液濃度的調配裝置有效
| 申請號: | 201821760229.5 | 申請日: | 2018-10-29 |
| 公開(公告)號: | CN209086665U | 公開(公告)日: | 2019-07-09 |
| 發明(設計)人: | 鐘平洪;劉呈貴;孫元一;陳才旺 | 申請(專利權)人: | 惠州市飛世爾實業有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/30 | 分類號: | G03F7/30 |
| 代理公司: | 深圳市鼎智專利代理事務所(普通合伙) 44411 | 代理人: | 徐永雷 |
| 地址: | 516000 廣東省惠州市惠陽區永湖*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 稀釋罐 采集箱 調配裝置 顯影液 罐體 連通 本實用新型 齒輪部件 出液口 攪拌軸 螺旋管 桿體 稀釋 傳動桿沿 罐體內腔 罐體外部 攪拌葉輪 均勻攪拌 稀釋劑管 傳動桿 導流孔 稀釋孔 軸承座 穿出 下端 調配 穿過 伸出 保證 | ||
1.一種基于顯影液濃度的調配裝置,其特征在于,它包括采集箱(8),所述采集箱(8)上設置有配料罐體(1),所述罐體(1)下端連接有稀釋罐(29),所述罐體(1)與所述采集箱(8)的導流孔(803)連通;所述罐體(1)上設置有連通內腔的直角管接頭(2),罐體(1)內腔中設置有攪拌軸(3),所述攪拌軸(3)穿過軸承座(5)與罐體(1)外部設置的第一齒輪部件(6)連接;所述采集箱(8)的底部設置有出液口(801),采集箱(8)內部設置有顯影液濃度測定裝置,所述的出液口(801)與稀釋罐(29)連通,所述稀釋罐(29)內具有一傳動桿(30),所述傳動桿(30)沿桿體上均勻設置有多個攪拌葉輪(33),桿體的一端穿出稀釋罐(29)連接第二齒輪部件(31),所述第一齒輪部件(6)與第二齒輪部件(31)之間通過驅動鏈條(32)連接;在所述稀釋罐(29)罐內還設置有開設多個稀釋孔(350)的螺旋管(35),所述螺旋管(35)與伸出稀釋罐(29)外的稀釋劑管(34)連通,所述稀釋劑管(34)上設置有流量計(37),稀釋罐(29)內設有泄液口(36)。
2.根據權利要求1所述的一種基于顯影液濃度的調配裝置,其特征在于,所述采集箱(8)內的顯影液濃度測定裝置包括一儲液盒(9),所述儲液盒(9)下端具有一開口,側端設有銜接導流孔(803)的進液口(901)以及用于穿插取樣管(19)的通孔,所述儲液盒(9)上端與儲液氣缸(10)的推桿連接,所述儲液氣缸(10)設置在采集箱(8)上;采集箱(8)內開有缺口槽(20),取樣管(19)的管體穿過所述缺口槽(20)連接取樣拼接機構(15),其末端開口與采集管(13)連通,所述采集管(13)內設有活塞帽(14),所述活塞帽(14)的端部連接采集氣缸(12),所述采集箱(8)上具有一將試管置于試管盛放腔(28)內的敞口(802);所述儲液氣缸(10)和采集氣缸(12)分別與控制器(24)連接。
3.根據權利要求1所述的一種基于顯影液濃度的調配裝置,其特征在于,所述攪拌軸(3)軸身上均勻設置有多根攪拌輥(4),所述的直角管接頭(2)出口與所述攪拌輥(4)相對設置。
4.根據權利要求2所述的一種基于顯影液濃度的調配裝置,其特征在于,所述敞口(802)內側的儲液盒(9)上設有試管夾,所述試管夾由C型卡扣(23)、設置在C型卡扣(23)的外連接套(26)、固定在儲液盒(9)上的內連接套(27)以及連接內連接套(27)和所述外連接套(26)的彈簧(25)組成。
5.根據權利要求2所述的一種基于顯影液濃度的調配裝置,其特征在于,所述采集箱(8)上固定有橡膠密封塊(11),所述橡膠密封塊(11)與儲液盒(9)的開口配合形成提取腔(902)。
6.根據權利要求2所述的一種基于顯影液濃度的調配裝置,其特征在于,所述儲液盒(9)的底部上設有一密封板(21),所述密封板(21)下安裝有用于將出液口(801)進行密封的堵塊(22)。
7.根據權利要求2所述的一種基于顯影液濃度的調配裝置,其特征在于,所述取樣拼接機構(15)包括手柄推塊(16)、設置在手柄推塊(16)上的定位擋套(17)以及與采集管(13)出口相配合的橡膠凸塊(18)。
8.根據權利要求7所述的一種基于顯影液濃度的調配裝置,其特征在于,所述的定位擋套(17)為“C”型擋套。
9.根據權利要求1所述的一種基于顯影液濃度的調配裝置,其特征在于,所述的螺旋管(35)與水平面傾斜,且其截面與攪拌葉輪(33)間隔等距設置。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于惠州市飛世爾實業有限公司,未經惠州市飛世爾實業有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201821760229.5/1.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇:用于半導體光刻工藝的簡易去邊裝置
- 下一篇:一種擾流式晶圓去膜裝置





