[實用新型]硅片載料舟

有效

• 申請號: 201821621374.5
• 申請日: 2018-09-30
• 公開（公告）號: CN208883988U
• 公開（公告）日: 2019-05-21
• 發明（設計）人: 李丙科;陳慶敏
• 申請（專利權）人: 無錫松煜科技有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;C23C16/455
• 代理公司: 無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙) 32260
• 代理人: 王闖;葛莉華

本實用新型公開了一種硅片載料舟，用于原子層沉積裝置，設置于門體組件上，門體組件包括第二門板。硅片載料舟包括載舟板和端板，載舟板固定連接第二門板，端板在載舟板的寬度方向上間隔設置在載舟板的兩側。載舟板上位于端板之間設置有第一固定桿，端板之間設置有第二固定桿，第一固定桿上開設有多個水平設置的第一固定槽，第二固定桿上開設有多個豎直設置的第二固定槽，相鄰的第一固定桿和第二固定桿上的第一固定槽和第二固定槽相對應。本案中的硅片載料舟中，通過第一固定桿上的第一固定槽和第二固定桿上的第二固定槽共同作用，從多個方向將硅片穩定限制在載料舟上，避免載料舟移動過程中硅片發生位移，相互碰撞造成損壞。

技術領域

本實用新型涉及硅片加工領域，尤其涉及一種硅片載料舟。

背景技術

在相關技術中，用于搬運硅片的舟盒一般只有兩側的限位槽對硅片進行限制。當硅片的面積較大的時候，兩側的限位槽無法為硅片提供穩定可靠的支撐和保護，硅片容易發生晃動，甚至互相接觸，發生碰撞，損壞硅片。

實用新型內容

本實用新型實施方式提供的一種硅片載料舟，用于原子層沉積裝置，設置于門體組件上，所述門體組件包括第二門板，

所述硅片載料舟包括載舟板和端板，所述載舟板固定連接所述第二門板，所述端板在所述載舟板的寬度方向上間隔設置在所述載舟板的兩側，

所述載舟板上位于所述端板之間設置有第一固定桿，所述端板之間設置有第二固定桿，所述第一固定桿上開設有多個水平設置的第一固定槽，所述第二固定桿上開設有多個豎直設置的第二固定槽，相鄰的所述第一固定桿和所述第二固定桿上的所述第一固定槽和所述第二固定槽相對應。

本實用新型實施方式中的硅片載料舟中，通過第一固定桿上的第一固定槽和第二固定桿上的第二固定槽共同作用，從多個方向將硅片穩定限制在載料舟上，避免載料舟移動過程中硅片發生位移，相互碰撞造成損壞。

在某些實施方式中，所述第二固定桿在水平方向上雙面開設有所述第二固定槽。

在某些實施方式中，每個所述第一固定桿和2個所述第二固定桿相鄰。

在某些實施方式中，相鄰2個所述第二固定桿關于之間的所述第一固定桿對稱設置。

在某些實施方式中，相鄰2個所述第一固定槽通過第一隔斷隔開，所述第一隔斷呈自相鄰的2個所述第一固定槽向所述第一隔斷的頂部漸縮的形狀。

在某些實施方式中，相鄰2個所述第二固定槽通過第二隔斷隔開，所述第二隔斷呈自相鄰的2個所述第二固定槽向遠離所述第二隔斷的方向漸縮的形狀。

本實用新型實施方式的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實用新型的實踐了解到。

附圖說明

本實用新型的上述和/或附加的方面和優點從結合下面附圖對實施方式的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1是本實用新型實施方式的硅片載料舟的立體結構示意圖；

圖2是本實用新型實施方式的硅片載料舟的平面結構示意圖；

圖3是圖1中的硅片載料舟在I處的放大示意圖；

圖4是圖2中的硅片載料舟在II處的放大示意圖。

具體實施方式

下面詳細描述本實用新型的實施方式，所述實施方式的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施方式是示例性的，僅用于解釋本實用新型，而不能理解為對本實用新型的限制。