[實(shí)用新型]一種阻止機(jī)械泵或油擴(kuò)散泵油氣污染透射電鏡照相室的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821723120.4
• 申請(qǐng)日: 2018-10-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209280744U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-08-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高占明
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 大連理工大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G01Q30/18
• 分類(lèi)號(hào): G01Q30/18
• 代理公司: 大連星海專(zhuān)利事務(wù)所有限公司 21208
• 代理人: 楊翠翠

一種阻止機(jī)械泵或油擴(kuò)散泵油氣污染透射電鏡照相室的裝置，其屬于材料分析測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域。該裝置設(shè)置在透射電鏡機(jī)械泵或油擴(kuò)散泵等和照相室之間，透射電鏡機(jī)械泵或油擴(kuò)散泵等產(chǎn)生的揮發(fā)性油氣經(jīng)由真空管路擴(kuò)散到油氣處理系統(tǒng)，在油氣處理系統(tǒng)中經(jīng)分子篩/炭膜復(fù)合膜處理，凈化再經(jīng)照相室端閥門(mén)、照相室接頭維持照相室潔凈的高真空系統(tǒng)。可以實(shí)現(xiàn)安全、實(shí)用、經(jīng)濟(jì)、有效地在透射電鏡上安裝并進(jìn)行大規(guī)模推廣。該裝置有效地去除油氣，避免了油氣進(jìn)入到照相室內(nèi)進(jìn)而在相機(jī)表面形成一層油膜，進(jìn)而影響相機(jī)性能及透射電鏡正常觀測(cè)的問(wèn)題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于材料分析測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種阻止機(jī)械泵或油擴(kuò)散泵油氣污染透射電鏡照相室的裝置。

背景技術(shù)

透射電子顯微鏡（Transmission Electron Microscope，TEM）是利用高能電子束充當(dāng)照明光源而進(jìn)行放大成像的大型顯微分析設(shè)備，即把經(jīng)加速和聚集的電子束透射到非常薄的樣品上，電子與樣品中的原子碰撞而改變方向，從而產(chǎn)生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度相關(guān)，因此可以形成明暗不同的影像，影像將在放大、聚焦后在成像器件（如熒光屏、膠片、以及感光耦合組件）上顯示出來(lái)(電子顯微學(xué)報(bào). 2004,3,269)。目前，透射電子顯微鏡在材料科學(xué)、生命科學(xué)等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用(中國(guó)組織工程研究與臨床康復(fù), 2009,8,1553;華西口腔醫(yī)學(xué)雜志, 1992,3,224;現(xiàn)代科學(xué)儀器, 2013,2,15;電子顯微學(xué)報(bào),2015, 2,142; Adv. Funct. Mater. 2018, 28, 1801397; Adv. Funct. Mater.2018, 28, 1803278; Adv. Energy Mater. 2017, 7 , 1700171; ACS Catal. 2018, 8,4612; Sustainable Energy Fuels, 2017, 1, 2128)

通常，電鏡鏡筒內(nèi)的電子束通道對(duì)真空度要求很高，電鏡工作必須保持在較高的真空度下，因?yàn)殓R筒中的殘留氣體分子如果與高速電子碰撞，就會(huì)產(chǎn)生電離放電和散射電子，從而引起電子束不穩(wěn)定，增加像差，污染樣品，并且殘留氣體將加速高熱燈絲的氧化，縮短燈絲壽命。目前，透射電子顯微鏡獲得高真空都是由真空泵抽取的。而這些真空泵通常都是需要泵油來(lái)潤(rùn)滑。照相室處在鏡筒的最下部，也是真空系統(tǒng)的最末端。目前主要生產(chǎn)廠商均用機(jī)械泵或油擴(kuò)散泵等來(lái)抽照相室真空。由于測(cè)試需要，其溫度一般維持在10攝氏度左右。在實(shí)際操作過(guò)程中，由于真空的作用以及較低的操作溫度，使得機(jī)械泵或油擴(kuò)散泵等中的油氣容易進(jìn)入到照相室內(nèi)，在相機(jī)表面形成一層油膜，影響透射電鏡的感光性能。出現(xiàn)該問(wèn)題時(shí)，通常需要返廠維修，一般采用蒸鍍方式處理才能去除，費(fèi)用不菲。由于相機(jī)表面有閃爍體，蒸鍍過(guò)程中易破損，增加了處理難度。到目前為止，還沒(méi)有針對(duì)該問(wèn)題的有效解決辦法。

發(fā)明內(nèi)容

為解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種工藝簡(jiǎn)單、能有效阻止油氣污染透射電鏡照相室且易于推廣應(yīng)用的裝置。

能夠?qū)崿F(xiàn)上述目的的本發(fā)明是一種阻止機(jī)械泵或油擴(kuò)散泵油氣污染透射電鏡照相室的裝置與方法，該裝置將加裝在照相室與真空泵之間，技術(shù)核心是將分子篩與多孔炭膜有機(jī)結(jié)合制備出分子篩/炭膜復(fù)合膜，利用分子篩和炭膜在處理?yè)]發(fā)油氣方面的各自?xún)?yōu)勢(shì)，防止油氣污染透射電鏡照相室。包括如下步驟：

一種阻止機(jī)械泵或油擴(kuò)散泵油氣污染透射電鏡照相室的裝置，透射電鏡自上而下包括電子槍、聚光鏡、樣品桿、顯微鏡、觀察窗、觀察室和照相室，機(jī)械泵分兩路連接到照相室，一路為機(jī)械泵經(jīng)機(jī)械泵閥、機(jī)械泵管和油氣處理系統(tǒng)連接至照相室；另一路為機(jī)械泵經(jīng)緩沖罐管連接至緩沖罐，再經(jīng)過(guò)油擴(kuò)散泵、油擴(kuò)散泵閥、油泵管和油氣處理系統(tǒng)連接至照相室；所述油氣處理系統(tǒng)包括兩個(gè)并聯(lián)的油氣處理單元，油氣處理單元包括泵端閥門(mén)、油氣處理柱和照相室端閥門(mén)，油氣處理柱自左到右包括無(wú)紡布層、分子篩/多孔炭膜層、炭膜柱層、分子篩/多孔炭膜層和無(wú)紡布層。