[實用新型]化學水浴鍍膜裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821704842.5
• 申請日: 2018-10-19
• 公開（公告）號: CN209260203U
• 公開（公告）日: 2019-08-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱海安;惠述偉;張升飛
• 申請（專利權(quán)）人: 華夏易能（廣東）新能源科技有限公司
• 主分類號: C23C18/16
• 分類號: C23C18/16
• 代理公司: 北京尚倫律師事務(wù)所 11477
• 代理人: 毛宏寶

本實用新型是關(guān)于一種化學水浴鍍膜裝置，包括：反應(yīng)槽、饋入管和加熱單元；所述饋入管，位于靠近所述反應(yīng)槽的底部的位置，輸入端位于反應(yīng)槽外部，將反應(yīng)槽外部的反應(yīng)液饋入所述反應(yīng)槽的內(nèi)部；所述加熱單元，位于靠近所述饋入管上方的位置，與所述反應(yīng)槽的側(cè)壁固定連接。該技術(shù)方案通過加熱單元對反應(yīng)槽內(nèi)靠近反應(yīng)槽上部的反應(yīng)液進行加熱，提升了反應(yīng)槽內(nèi)靠近反應(yīng)槽上部的反應(yīng)液的溫度，減小了反應(yīng)槽內(nèi)靠近反應(yīng)槽上部和下部的反應(yīng)液的溫度梯度，使反應(yīng)槽內(nèi)靠近反應(yīng)槽上部和下部的反應(yīng)液溫度分布基本均勻，進而在在沉積膜層過程中，玻璃基底上沉積的膜層厚度能夠基本達到均勻一致，提升了膜層質(zhì)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及化學水浴沉積裝置技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及化學水浴鍍膜裝置。

背景技術(shù)

目前，具備高效光電轉(zhuǎn)換效率的銅銦鎵硒薄膜太陽能電池中硫化鎘層作為緩沖層對電池效率提升有重要影響。硫化鎘化學水浴是廣泛使用的沉積方法，有芯片臥式鍍膜方法和芯片立式鍍膜兩種方法，前者一般用在小面積電池領(lǐng)域，且生產(chǎn)效率較低；后者則在大面積玻璃基底銅銦鎵硒電池硫化鎘的沉積中具備生產(chǎn)效率較高的優(yōu)勢。

相關(guān)技術(shù)中，在立式硫化鎘化學水浴鍍膜系統(tǒng)里，反應(yīng)液從反應(yīng)槽頂部溢流口溢出，經(jīng)過外設(shè)加熱器加熱后，再由底部饋入管饋入到槽底，通過這種反應(yīng)液的循環(huán)以保持槽內(nèi)反應(yīng)溫度的恒定。

實用新型內(nèi)容

本實用新型實施例提供一種化學水浴鍍膜裝置，能夠提升反應(yīng)槽內(nèi)靠近反應(yīng)槽上部的反應(yīng)液的溫度，以實現(xiàn)反應(yīng)槽內(nèi)靠近反應(yīng)槽從上部和下部的反應(yīng)液溫度分布基本均勻。所述技術(shù)方案如下：

根據(jù)本實用新型實施例的第一方面，提供一種化學水浴鍍膜裝置，包括：反應(yīng)槽、饋入管和加熱單元；

所述饋入管，位于靠近所述反應(yīng)槽的底部的位置，輸入端位于反應(yīng)槽外部，將反應(yīng)槽外部的反應(yīng)液饋入所述反應(yīng)槽的內(nèi)部；

所述加熱單元，位于靠近所述饋入管上方的位置，與所述反應(yīng)槽的側(cè)壁固定連接。

本實用新型實施例提供的技術(shù)方案可以包括以下有益效果：該技術(shù)方案通過加熱單元對反應(yīng)槽內(nèi)靠近反應(yīng)槽上部的反應(yīng)液進行加熱，提升了反應(yīng)槽內(nèi)靠近反應(yīng)槽上部的反應(yīng)液的溫度，減小了反應(yīng)槽內(nèi)靠近反應(yīng)槽上部和下部的反應(yīng)液的溫度梯度，使反應(yīng)槽內(nèi)靠近反應(yīng)槽上部和下部的反應(yīng)液溫度分布基本均勻，進而在在沉積膜層過程中，玻璃基底上沉積的膜層厚度能夠基本達到均勻一致，提升了膜層質(zhì)量。

在一個實施例中，所述化學水浴鍍膜裝置還包括溫度傳感器；

所述溫度傳感器，位于所述反應(yīng)槽內(nèi)，且靠近所述加熱單元。

本實用新型實施例提供的技術(shù)方案可以包括以下有益效果：該技術(shù)方案通過溫度傳感器能夠?qū)Ψ磻?yīng)槽內(nèi)靠近反應(yīng)槽上部的反應(yīng)液的溫度變化進行實時監(jiān)測，因此，可以根據(jù)溫度傳感器檢測的溫度值調(diào)節(jié)加熱單元的加熱溫度，以實現(xiàn)盡量持續(xù)保持反應(yīng)槽內(nèi)靠近反應(yīng)槽上部和下部的反應(yīng)液溫度分布均勻性。

在一個實施例中，所述加熱單元包括：加熱元件和包裹在所述加熱元件外部的絕緣外層。

本實用新型實施例提供的技術(shù)方案可以包括以下有益效果：該技術(shù)方案通過絕緣外層將加熱元件與使用環(huán)境隔離，提升了使用過程中的安全性。

在一個實施例中，所述加熱單元的形狀包括：管狀、帶狀或板狀。

本實用新型實施例提供的技術(shù)方案可以包括以下有益效果：該技術(shù)方案中管狀的加熱單元發(fā)熱快，提高了加熱效率。帶狀和板狀的加熱單元，發(fā)熱的有效面積相對較大，提高了較大面積加熱時的加熱效率，其中帶狀的加熱單元易于成形，結(jié)構(gòu)簡單且便于安裝。

在一個實施例中，所述加熱單元位于所述反應(yīng)槽內(nèi)。