[實用新型]片材夾具及沉積設備

有效

• 申請號: 201821704778.0
• 申請日: 2018-10-19
• 公開（公告）號: CN209194055U
• 公開（公告）日: 2019-08-02
• 發明（設計）人: 唐永炳;孟醒;陳波;王陶
• 申請（專利權）人: 深圳先進技術研究院
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;C23C16/27;C23C16/01
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 逯恒

本實用新型提供了一種片材夾具及沉積設備，涉及涂層沉積輔助設備技術領域。該片材夾具包括傳動單元、送料件和沉積板，送料件位于沉積板的上方，片材裝載在沉積板上，傳動單元通過帶動送料件運動從而帶動片材移動；該片材夾具通過帶動片材沿沉積板連續移動，使得片材的待沉積部分連續通過熱絲對應的有效沉積區域，進而實現片材由待沉積狀態向已沉積狀態轉變，故采用該夾具能夠連續沉積片材面積大于沉積設備有效沉積范圍的片材，可大大提高沉積效率，縮短生產周期，降低生產成本；該夾具結構簡單，操作方便，且不會改變沉積設備原有的結構和部件。本實用新型還提供一種沉積設備，包括爐體，上述片材夾具位于爐體內，片材夾具與爐體可拆卸固定連接。

技術領域

本實用新型涉及涂層沉積輔助設備技術領域，尤其是涉及一種片材夾具及沉積設備。

背景技術

隨著化學氣相沉積金剛石技術的發展，化學氣相沉積金剛石用途越來越廣泛。化學氣相沉積制備金剛石粉的原理是利用金剛石與銅箔之間較大的熱膨脹性質的差異，利用化學氣相沉積設備在800℃條件下在銅箔上沉積金剛石薄膜，在冷卻的過程中金剛石薄膜由于受到較大的熱應力會自然的從銅箔上脫落下來，將脫落下來的薄膜碎片進行后續的加工，即可制得金剛石粉末，該方法還可以制備各種摻雜其他元素的金剛石粉末。

但是現有的在利用化學氣相沉積制備金剛石粉過程中，是直接將沉積樣品放置在設備原裝樣品臺上，被沉積樣品尺寸局限較大，沉積效率不高；另外，原裝樣品臺無法收集從銅箔上脫落的金剛石薄膜碎片，導致開爐子后薄膜損失較大。

有鑒于此，特提出本實用新型能夠解決上述問題中的至少一個。

實用新型內容

本實用新型的第一目的在于提供一種片材夾具，在不改變沉積設備的基本結構條件下，利用該片材夾具可連續沉積片材面積大于沉積設備有效沉積范圍的片材，極大的減少了一些中間過程，有利于提高沉積效率和降低生產成本。

本實用新型的第二目的在于提供一種沉積設備，使用上述片材夾具進行沉積操作。

為解決上述技術問題，本實用新型特采用如下技術方案：

本實用新型提供了一種片材夾具，包括傳動單元、送料件和沉積板；

所述送料件位于所述沉積板的上方，片材裝載在所述沉積板上，所述傳動單元通過帶動所述送料件運動從而帶動所述片材移動。

進一步的，在本實用新型技術方案的基礎之上，所述送料件包括滾輪，所述片材位于所述滾輪與所述沉積板之間，所述滾輪能夠帶動所述片材沿所述沉積板移動。

進一步的，在本實用新型技術方案的基礎之上，所述傳動單元包括第一傳動件和第二傳動件，所述第一傳動件能夠帶動所述第二傳動件轉動，所述第二傳動件用于驅動所述送料件運動。

進一步的，在本實用新型技術方案的基礎之上，所述第一傳動件包括蝸桿，所述第二傳動件包括蝸輪，所述蝸輪與所述蝸桿配合。

進一步的，在本實用新型技術方案的基礎之上，所述第一傳動件包括傳動部和蝸桿，所述傳動部套設于所述蝸桿上并與所述蝸桿同步運動；

所述第二傳動件包括蝸輪，所述蝸輪與所述蝸桿配合。

進一步的，在本實用新型技術方案的基礎之上，所述片材夾具包括收集盒，所述收集盒位于所述沉積板靠近所述送料件的一側并用于收集已沉積的片材；

和/或，所述片材夾具包括第一支座，所述第一支座位于所述送料件的側面并用于支撐所述送料件；

和/或，所述片材夾具包括第二支座，所述第二支座位于所述沉積板的側面并用于支撐所述沉積板。

進一步的，在本實用新型技術方案的基礎之上，所述第一傳動件為銅質傳動件；

和/或，所述第二傳動件為銅質傳動件。