[實用新型]片材夾具及沉積設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821704778.0
• 申請日: 2018-10-19
• 公開（公告）號: CN209194055U
• 公開（公告）日: 2019-08-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 唐永炳;孟醒;陳波;王陶
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳先進(jìn)技術(shù)研究院
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;C23C16/27;C23C16/01
• 代理公司: 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371
• 代理人: 逯恒

1.一種片材夾具，其特征在于，包括傳動單元(1)、送料件(2)和沉積板(3)；

所述送料件(2)位于所述沉積板(3)的上方，片材(4)裝載在所述沉積板(3)上，所述傳動單元(1)通過帶動所述送料件(2)運動從而帶動所述片材(4)移動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的片材夾具，其特征在于，所述送料件(2)包括滾輪，所述片材(4)位于所述滾輪與所述沉積板(3)之間，所述滾輪能夠帶動所述片材(4)沿所述沉積板(3)移動。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的片材夾具，其特征在于，所述傳動單元(1)包括第一傳動件(11)和第二傳動件(12)，所述第一傳動件(11)能夠帶動所述第二傳動件(12)轉(zhuǎn)動，所述第二傳動件(12)用于驅(qū)動所述送料件(2)運動。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的片材夾具，其特征在于，所述第一傳動件(11)包括蝸桿(112)，所述第二傳動件(12)包括蝸輪，所述蝸輪與所述蝸桿(112)配合。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的片材夾具，其特征在于，所述第一傳動件（11）包括傳動部(111)和蝸桿(112)，所述傳動部(111)套設(shè)于所述蝸桿(112)上并與所述蝸桿(112)同步運動；

所述第二傳動件(12)包括蝸輪，所述蝸輪與所述蝸桿(112)配合。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任意一項所述的片材夾具，其特征在于，所述片材夾具包括收集盒(5)，所述收集盒(5)位于所述沉積板(3)靠近所述送料件(2)的一側(cè)并用于收集已沉積的片材(4)；

和/或，所述片材夾具包括第一支座(21)，所述第一支座(21) 位于所述送料件(2)的側(cè)面并用于支撐所述送料件(2)；

和/或，所述片材夾具包括第二支座(31)，所述第二支座(31)位于所述沉積板(3)的側(cè)面并用于支撐所述沉積板(3)。

7.根據(jù)權(quán)利要求3-5任意一項所述的片材夾具，其特征在于，所述第一傳動件(11)為銅質(zhì)傳動件；

和/或，所述第二傳動件(12)為銅質(zhì)傳動件。

8.一種沉積設(shè)備，其特征在于，包括爐體，權(quán)利要求1-7任意一項所述的片材夾具位于所述爐體內(nèi)部，所述片材夾具與所述爐體可拆卸固定連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的沉積設(shè)備，其特征在于，所述爐體內(nèi)部設(shè)有襯底平臺(6)，所述襯底平臺(6)上設(shè)有可旋轉(zhuǎn)樣品臺(7)和至少兩個熱絲固定架(8)，所述熱絲固定架(8)通過電極柱(10)與所述襯底平臺(6)連接，所述熱絲固定架(8)之間設(shè)置有熱絲(9)，所述可旋轉(zhuǎn)樣品臺(7)位于所述熱絲(9)的下方；

所述可旋轉(zhuǎn)樣品臺(7)能夠帶動所述片材夾具的所述傳動單元(1)和所述送料件(2)運動從而帶動所述片材(4)移動。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的沉積設(shè)備，其特征在于，所述可旋轉(zhuǎn)樣品臺(7)與所述片材夾具的所述傳動單元(1)之間采用齒輪傳動、皮帶傳動或鏈傳動。