[實用新型]一種提高電子束熔煉多晶硅效率的裝置

有效

• 申請號: 201821674964.4
• 申請日: 2018-10-16
• 公開（公告）號: CN209161503U
• 公開（公告）日: 2019-07-26
• 發明（設計）人: 唐子凡;張磊;龐大宇;肖承祥;張思源
• 申請（專利權）人: 青島藍光晶科新材料有限公司
• 主分類號: C01B33/037
• 分類號: C01B33/037
• 代理公司: 北京志霖恒遠知識產權代理事務所(普通合伙) 11435
• 代理人: 朱昀

1.一種提高電子束熔煉多晶硅效率的裝置，其特征在于：具有熔煉坩堝，熔煉坩堝的側壁和底板之間的連接角設有向內的傾斜面，傾斜角度為45°-60°。

2.如權利要求1所述的提高電子束熔煉多晶硅效率的裝置，其特征在于：熔煉坩堝下方連接熔煉坩堝翻轉軸。

3.如權利要求1所述的提高電子束熔煉多晶硅效率的裝置，其特征在于：熔煉坩堝的冷卻水路分為側壁水路與底部水路共兩路，側壁水路采用螺旋式水路結構，單路水道，冷卻水由底部進入，由頂部流出；底部水路采用螺旋水路結構，冷卻水由坩堝底部通入坩堝內部，通過循環流動從坩堝側邊流出。

4.如權利要求1所述的提高電子束熔煉多晶硅效率的裝置，其特征在于：所述提高電子束熔煉多晶硅效率的裝置還包括送料機構、爐體、電子槍、熔煉坩堝、凝固坩堝；送料結構連接在爐體的上端，爐體的一側與吸真空結構相連，上方為電子槍，向下發射電子束，電子槍與吸真空結構相連；爐體內、電子束照射方為熔煉坩堝，熔煉坩堝的后端位于送料機構的送料口下方，導液口端位于凝固坩堝的開口上方；凝固坩堝設于爐體底部。

5.如權利要求4所述的提高電子束熔煉多晶硅效率的裝置，其特征在于：所述爐體的一側的吸真空結構為依次連接的機械泵Ⅰ、羅茨泵Ⅰ、擴散泵，擴散泵的端部與爐體相連；電子槍一側的吸真空結構為依次連接的分子泵、羅茨泵Ⅱ、機械泵Ⅱ，分子泵的端部與電子槍相連，構建電子束熔煉所需要的真空條件；爐體的一側設有充氣閥。