[實用新型]全自動插片機

有效

• 申請號: 201821664517.0
• 申請日: 2018-10-15
• 公開（公告）號: CN208781823U
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發明（設計）人: 李繼忠
• 申請（專利權）人: 江蘇科沛達半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427
• 代理人: 陳娟

1.全自動插片機，其特征在于：包括空籃上料機構(1)，硅片分片輸送機構(2)，滿籃、空籃移栽機構(3)，滿籃輸送機構(4)，空籃下料機構(5)，機架外封機構(6)，人機界面(7)和硅片裝載機構(8)；

所述空籃上料機構(1)包括導向板(101)、防護板(102)和上料系統裝配件(103)，所述上料系統裝配件(103)的頂部設有兩組相互平行的防護板(102)，每組所述防護板(102)的頂部均水平設有導向板(101)；

所述硅片分片輸送機構(2)包括檢測固定板(201)、步進電機(202)、前側導向裝配件(203)、二段輸送裝配件(204)、電機側板(205)、廢片檢測裝配體(206)和皮帶機頭總裝配體(207)，所述皮帶機頭總裝配體(207)的右側通過螺栓固定安裝有廢片檢測裝配體(206)，所述廢片檢測裝配體(206)的右側通過螺栓固定安裝有前側導向裝配件(203)，所述前側導向裝配件(203)的右側通過螺栓固定安裝有二段輸送裝配件(204)，所述廢片檢測裝配體(206)的頂部左右兩側之間通過螺栓固定安裝有檢測固定板(201)，所述前側導向裝配件(203)的左右兩側均通過螺栓豎直安裝有電機側板(205)，左側所述電機側板(205)的表面安裝有步進電機(202)；

所述滿籃、空籃移栽機構(3)包括升降機械手裝配體(301)和直線滑軌(302)，所述升降機械手裝配體(301)共有兩組，兩組所述升降機械手裝配體(301)均通過螺栓固定安裝在直線滑軌的右側末端側壁表面；

所述滿籃輸送機構(4)包括第一導軌(401)、滑塊(402)和氣缸(403)，所述第一導軌(401)共有兩組，兩組第一導軌(401)在同一平面上呈相互平行設置，兩組所述第一導軌(401)之間滑動連接有滑塊(402)，其中右側所述第一導軌(401)的外側側壁固定安裝有氣缸(403)，所述氣缸(403)的活動端與滑塊(402)的側壁固定連接；

所述空籃下料機構(5)包括磁偶缸(501)、第二導軌(502)、導桿氣缸(503)和掛鉤板(504)，所述第二導軌(502)的內腔水平鑲嵌有磁偶缸(501)，所述第二導軌(502)的右側末端豎直安裝有導桿氣缸(503)，所述導桿氣缸(503)的底部設有掛鉤板(504)，所述掛鉤板(504)位于第二導軌(502)的底部；

所述硅片裝載機構(8)包括啟動手指(801)、超薄氣缸(802)、模組(803)和三軸氣缸(804)，所述模組(803)的頂部中心設有超薄氣缸(802)，所述超薄氣缸(802)的活動端固定連接有啟動手指(801)，所述模組(803)的表面中心的左右兩側分別通過安裝板固定安裝有三軸氣缸(804)；

所述人機界面(7)通過螺栓固定安裝在機架外封機構(6)的左側上方側壁表面，所述空籃上料機構(1)通過焊接連接在機架外封機構(6)的內腔，所述硅片分片輸送機構(2)位于機架外封機構(6)的中間兩側并與空籃上料機構(1)通過螺紋固定連接，所述滿籃、空籃移栽機構(3)與機架外封機構(6)通過螺紋連接，所述滿籃輸送機構(4)與機架外封機構(6)通過焊接連接，所述空籃下料機構(5)的第二導軌(502)與機架外封機構(6)通過齒輪卡合連接，所述硅片裝載機構(8)的前后兩側通過螺栓與機架外封機構(6)的內腔側壁螺紋連接。

2.根據權利要求1所述的全自動插片機，其特征在于：所述步進電機(202)為2S57Q-25B2系列步進電機。

3.根據權利要求1所述的全自動插片機，其特征在于：所述超薄氣缸(802)為ACQ系列超薄氣缸。

4.根據權利要求1所述的全自動插片機，其特征在于：所述三軸氣缸(804)為TCM系列三軸氣缸。

5.根據權利要求1所述的全自動插片機，其特征在于：所述直線滑軌(302)為TRH20VN系列直線導軌。