[實用新型]石英勻流板

有效

• 申請號: 201821663204.3
• 申請日: 2018-10-15
• 公開（公告）號: CN209039581U
• 公開（公告）日: 2019-06-28
• 發明（設計）人: 李光華;趙偉恒;高峰
• 申請（專利權）人: 沈陽芯貝伊爾半導體科技有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種石英勻流板，其特征在于，所述石英勻流板包括：

第一勻流板；

第二勻流板，所述第二勻流板與所述第一勻流板相對設置，且所述第二勻流板上設置至少兩個導流孔；

第一連接件，所述第一連接件的一端與所述第一勻流板的中心相連接，且所述第一連接件的另一端與所述第二勻流板的中心相連接，以使所述第一勻流板與所述第二勻流板之間存有間隙；

其中，氣體經至少兩個所述導流孔流入，且從所述間隙中流出。

2.根據權利要求1所述的石英勻流板，其特征在于，所述石英勻流板還包括：

第二連接件，至少一個所述第二連接件的一端與所述第一勻流板相連接，且至少一個所述第二連接件的另一端與所述第二勻流板相連接。

3.根據權利要求2所述的石英勻流板，其特征在于：

所述第二連接件為三個，且三個所述第二連接件沿所述第一勻流板和所述第二勻流板的上部均勻分部。

4.根據權利要求3所述的石英勻流板，其特征在于，所述石英勻流板還包括：

第一定位槽，所述第一定位槽同時穿過所述第一勻流板和所述第二勻流板；

第二定位槽，所述第二定位槽同時穿過所述第一勻流板和所述第二勻流板。

5.根據權利要求1所述的石英勻流板，其特征在于，所述石英勻流板還包括：

第一固定孔，所述第一固定孔設置在所述第一勻流板的中心，且所述第一固定孔包裹在所述第一連接件的外側；

第二固定孔，所述第二固定孔設置在所述第二勻流板的中心，且所述第二固定孔包裹在所述第一連接件的外側。

6.根據權利要求1所述的石英勻流板，其特征在于：

所述導流孔為23個，且23個所述導流孔均勻分部在所述第二勻流板上。

7.根據權利要求1所述的石英勻流板，其特征在于，所述石英勻流板還包括：

噴砂層，所述噴砂層包裹在所述第一勻流板和所述第二勻流板的外表面上。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的石英勻流板，其特征在于：

所述石英勻流板為石英體。