[實(shí)用新型]擴(kuò)散爐尾氣處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821645820.6
• 申請(qǐng)日: 2018-10-10
• 公開（公告）號(hào): CN209378661U
• 公開（公告）日: 2019-09-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉斌;黃輝巍;楊三川
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇順風(fēng)新能源科技有限公司
• 主分類號(hào): B01D46/30
• 分類號(hào): B01D46/30;B01D53/18;B01D5/00
• 代理公司: 常州知融專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32302
• 代理人: 路接洲

本實(shí)用新型涉及一種擴(kuò)散爐尾氣處理裝置，包括氣體冷卻裝置、一級(jí)過濾器、二級(jí)過濾器以及三級(jí)過濾器；所述的氣體冷卻裝置內(nèi)通有冷卻液，擴(kuò)散爐尾氣管輸出管道設(shè)置于氣體冷卻裝置上；所述的擴(kuò)散爐尾氣管輸出管道的一端連接一級(jí)過濾器；所述的一級(jí)過濾器、二級(jí)過濾器、三級(jí)過濾器依次設(shè)置且一級(jí)過濾器、二級(jí)過濾器、三級(jí)過濾器內(nèi)腔相通；所述的一級(jí)過濾器和三級(jí)過濾器內(nèi)部均內(nèi)部填充玻璃珠；所述的二級(jí)過濾器內(nèi)部填充水或尾氣吸收液；所述三級(jí)過濾器連接尾氣排放管。本實(shí)用新型設(shè)備結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，能有效避免尾氣管堵塞、腐蝕；從而避免因偏磷酸等導(dǎo)致的尾氣管斷裂、接頭黏連；降低了維護(hù)周期，提升了設(shè)備使用率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種擴(kuò)散爐尾氣處理裝置。

背景技術(shù)

晶硅太陽能電池具有良好的工藝穩(wěn)定性以及成熟的工藝流程，已經(jīng)大規(guī)模應(yīng)用于能源行業(yè)，在晶硅太陽能電池制作過程中最核心的工藝是PN結(jié)制作，即擴(kuò)散工藝，硅片在擴(kuò)散爐管內(nèi)通入POCL₃、BCL₃等氣體，反應(yīng)使相應(yīng)的摻雜雜質(zhì)沉積在硅片表面形成PN結(jié)，在反應(yīng)過程中會(huì)產(chǎn)生一些副產(chǎn)物，需要從尾氣管排出，進(jìn)入廢氣塔處理。

但是現(xiàn)有技術(shù)中尾氣在排出時(shí)未能完全冷卻且尾氣排出裝置對(duì)硼擴(kuò)產(chǎn)生的氧化硼或者磷擴(kuò)產(chǎn)生的偏磷酸等沒有很好的去除，容易造成尾氣管堵塞以及對(duì)整個(gè)尾氣管，包括真空泵的腐蝕，甚至積液造成尾氣管斷裂和接頭黏連，在硼擴(kuò)散中表現(xiàn)的尤其明顯，發(fā)生以上情況時(shí)需要將尾氣管部分拆下清洗，嚴(yán)重影響設(shè)備的使用率。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是：提供一種擴(kuò)散爐尾氣處理裝置，能夠很好的去除爐管內(nèi)反應(yīng)產(chǎn)生的副產(chǎn)物，防止反應(yīng)副產(chǎn)物堵塞尾氣管以及對(duì)尾氣管、真空泵的腐蝕，延長尾氣管的維護(hù)周期，提高設(shè)備使用率。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：一種擴(kuò)散爐尾氣處理裝置，包括氣體冷卻裝置、一級(jí)過濾器、二級(jí)過濾器以及三級(jí)過濾器；所述的氣體冷卻裝置內(nèi)通有冷卻液，擴(kuò)散爐尾氣管輸出管道設(shè)置于氣體冷卻裝置上；所述的擴(kuò)散爐尾氣管輸出管道的一端連接一級(jí)過濾器；所述的一級(jí)過濾器、二級(jí)過濾器、三級(jí)過濾器依次設(shè)置且一級(jí)過濾器、二級(jí)過濾器、三級(jí)過濾器內(nèi)腔相通；所述的一級(jí)過濾器和三級(jí)過濾器內(nèi)部均內(nèi)部填充玻璃珠；所述的二級(jí)過濾器內(nèi)部填充水或尾氣吸收液；所述三級(jí)過濾器連接尾氣排放管。

進(jìn)一步的說，根據(jù)實(shí)際使用場(chǎng)合的需要，本實(shí)用新型所述的一級(jí)過濾器、二級(jí)過濾器、三級(jí)過濾器依次水平擺放或垂直擺放。

再進(jìn)一步的說，本實(shí)用新型所述的擴(kuò)散爐尾氣管輸出管道纏繞在氣體冷卻裝置外表面；擴(kuò)散爐尾氣管輸出管道的最底部設(shè)置有廢液收集器。擴(kuò)散尾氣從爐管排出后經(jīng)過冷卻裝置，可以達(dá)到很好的降溫效果，降溫過程中偏磷酸等會(huì)發(fā)生冷凝，由廢液收集器進(jìn)行收集。

再進(jìn)一步的說，本實(shí)用新型所述的擴(kuò)散爐尾氣管輸出管道的一端連接一級(jí)過濾器的頂部進(jìn)氣口；所述一級(jí)過濾器的底部氣體出口經(jīng)管路與二級(jí)過濾器的底部進(jìn)氣口相連；所述二級(jí)過濾器的頂部出氣口與三級(jí)過濾器的頂部進(jìn)氣口相通；所述的三級(jí)過濾器的氣體出口設(shè)置于其底部。尾氣冷卻后進(jìn)入一號(hào)過濾器進(jìn)行初步過濾，過濾后氣體進(jìn)入二號(hào)過濾器，二號(hào)過濾器內(nèi)加入水可以去除大部分副產(chǎn)物，廢氣經(jīng)二號(hào)過濾器過濾后進(jìn)入三號(hào)過濾器，去除二號(hào)過濾器帶出的水蒸氣，最后廢氣由真空泵抽出排至廢氣塔處理，

本實(shí)用新型與現(xiàn)有的尾氣裝置相比具有以下優(yōu)勢(shì)：