[實用新型]大口徑平面干涉儀載物臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821640340.0
• 申請日: 2018-10-09
• 公開（公告）號: CN208841353U
• 公開（公告）日: 2019-05-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳衛(wèi)華
• 申請（專利權(quán)）人: 上海乾曜光學科技有限公司
• 主分類號: B25H1/18
• 分類號: B25H1/18;B25H1/14;G01B11/30
• 代理公司: 上海助之鑫知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31328
• 代理人: 王風平

本實用新型提出一種大口徑平面干涉儀載物臺，包括：底板；俯仰臺，俯仰臺設(shè)在底板上；第一固定支腳和第二固定支腳，第一固定支腳和第二固定支腳前后間隔地設(shè)在俯仰臺的底面上并位于俯仰臺的左側(cè)；高度調(diào)節(jié)支腳，高度調(diào)節(jié)支腳設(shè)在俯仰臺的底面上并位于俯仰臺的右側(cè)，第一固定支腳、第二固定支腳與高度調(diào)節(jié)支腳的連線構(gòu)成等腰三角形；旋轉(zhuǎn)臺，旋轉(zhuǎn)臺設(shè)在俯仰臺的上面；擺動組件，擺動組件設(shè)在俯仰臺與旋轉(zhuǎn)臺之間，擺動組件的擺動軸線沿左右延伸且分別與俯仰臺和旋轉(zhuǎn)臺相連，擺動組件用于使旋轉(zhuǎn)臺相對于俯仰臺可擺動。根據(jù)本實用新型的一種大口徑平面干涉儀載物臺，可以實現(xiàn)俯仰角度和偏擺角度的精密調(diào)節(jié)，以保證載物臺處于水平位置。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種大口徑平面干涉儀載物臺。

背景技術(shù)

利用大口平面干涉儀測量平面元件的平面度時，需要將被測元件豎起來，并且需要調(diào)整被測元件與干涉儀標準鏡之間的角度，使得他們之間的夾角接近0度，也就是使它們接近絕對平行，要使得調(diào)整精度如此之高就需要高精密的載物臺，該載物臺需要實現(xiàn)俯仰和偏擺兩個方向的精密調(diào)節(jié)。

實用新型內(nèi)容

本實用新型旨在至少在一定程度上解決相關(guān)技術(shù)中的技術(shù)問題之一。

為此，本實用新型的一個目的在于提出一種大口徑平面干涉儀載物臺，可以實現(xiàn)俯仰角度和偏擺角度的精密調(diào)節(jié)，以保證載物臺處于水平位置。

根據(jù)本實用新型的一種大口徑平面干涉儀載物臺，包括：

底板；

俯仰臺，所述俯仰臺設(shè)在所述底板上；

第一固定支腳和第二固定支腳，所述第一固定支腳和所述第二固定支腳設(shè)在所述底板與所述俯仰臺之間，所述第一固定支腳和所述第二固定支腳前后間隔地設(shè)在所述俯仰臺的底面上并位于所述俯仰臺的左側(cè)；

高度調(diào)節(jié)支腳，所述高度調(diào)節(jié)支腳設(shè)在所述底板與所述俯仰臺之間，所述高度調(diào)節(jié)支腳設(shè)在所述俯仰臺的底面上并位于所述俯仰臺的右側(cè)，所述第一固定支腳、所述第二固定支腳與所述高度調(diào)節(jié)支腳的連線構(gòu)成等腰三角形；

旋轉(zhuǎn)臺，所述旋轉(zhuǎn)臺設(shè)在所述俯仰臺的上面；

擺動組件，所述擺動組件設(shè)在所述俯仰臺與所述旋轉(zhuǎn)臺之間，所述擺動組件的擺動軸線沿左右延伸且分別與所述俯仰臺和所述旋轉(zhuǎn)臺相連，所述擺動組件用于使所述旋轉(zhuǎn)臺相對于所述俯仰臺可擺動。

有利地，所述擺動組件包括：

下板，所述下板固定設(shè)在所述俯仰臺上；

上板，所述上板固定設(shè)在所述旋轉(zhuǎn)臺上并與所述下板可樞轉(zhuǎn)地相連；

轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸沿左右方向延伸并與所述上板固定相連；

調(diào)節(jié)頭，所述調(diào)節(jié)頭與所述轉(zhuǎn)軸的右端相連用于使所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動。

有利地，所述調(diào)節(jié)頭的軸線與所述轉(zhuǎn)軸的軸線正交。

有利地，所述轉(zhuǎn)軸的右端構(gòu)造成第一傘齒輪，所述調(diào)節(jié)頭的后端構(gòu)造成與所述第一傘齒輪相適配的第二傘齒輪。

本實用新型的附加方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實用新型的實踐了解到。

附圖說明

圖1是根據(jù)本實用新型一個實施例的大口徑平面干涉儀載物臺的俯視圖；

圖2是沿圖1中的線A-A的剖面圖。

具體實施方式

下面詳細描述本實用新型的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，旨在用于解釋本實用新型，而不能理解為對本實用新型的限制。