[實用新型]一種硅片清洗機用廢液收集裝置

有效

• 申請號: 201821627206.7
• 申請日: 2018-10-08
• 公開（公告）號: CN208843031U
• 公開（公告）日: 2019-05-10
• 發明（設計）人: 周尤;韋樹喜;韋海玉
• 申請（專利權）人: 河北萬維克林精密設備有限公司
• 主分類號: B65F1/10
• 分類號: B65F1/10;B65F1/14
• 代理公司: 北京志霖恒遠知識產權代理事務所(普通合伙) 11435
• 代理人: 楊玉廷

1.一種硅片清洗機用廢液收集裝置，其特征在于：包括硅片清洗機(1)和收集罐(3)，所述硅片清洗機(1)一側設有出水口(10)，出水口(10)通過連接水管(2)連接有水泵(9)，所述收集罐(3)上設有密封蓋(4)，密封蓋(4)與水泵(9)之間連接有連接水管(2)，所述收集罐(3)上設有固定塊(5)，固定塊(5)內設有凹槽，所述固定塊(5)內側壁通過彈簧(13)連接有弧形的定位擋板(11)，定位擋板(11)對稱分布在固定塊(5)的內部，所述定位擋板(11)之間連接有收集罐(3)，收集罐(3)的高度等于1/2固定塊(5)的高度。

2.根據權利要求1所述的一種硅片清洗機用廢液收集裝置，其特征在于：所述固定塊(5)下端固定連接有支撐板(12)，支撐板(12)下端兩側設有第二液壓桿(8)，且第二液壓桿(8)位于支撐板(12)水平方向的軸線上。

3.根據權利要求1所述的一種硅片清洗機用廢液收集裝置，其特征在于：所述定位擋板(11)內側設有橡膠墊(14)，且定位擋板(11)上端為切口結構。

4.根據權利要求2所述的一種硅片清洗機用廢液收集裝置，其特征在于：所述支撐板(12)下端開設有半圓形凹槽(16)，凹槽(16)內連接有連接軸(15)，且連接軸(15)下端固定連接有第一液壓桿(6)，并且凹槽(16)的直徑等于連接軸(15)的外部直徑。

5.根據權利要求4所述的一種硅片清洗機用廢液收集裝置，其特征在于：所述第一液壓桿(6)與第二液壓桿(8)下端固定連接有移動推車(7)。

6.根據權利要求1所述的一種硅片清洗機用廢液收集裝置，其特征在于：所述彈簧(13)內固定連接有橡膠柱(17)，且橡膠柱(17)的高度與彈簧(13)的高度相等。