[實用新型]一種全無機VCSEL器件有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821621614.1 | 申請日： | 2018-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN208753724U | 公開（公告）日： | 2019-04-16 |
| 發(fā)明（設計）人： | 任榮斌;湯樂明;何紹勇;熊科;談強;吳乾 | 申請（專利權）人： | 廣州市鴻利秉一光電科技有限公司 |
| 主分類號： | H01S5/022 | 分類號： | H01S5/022 |
| 代理公司： | 深圳市華勤知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 44426 | 代理人： | 隆毅 |
| 地址： | 510890 廣東省廣*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 碗杯 玻璃蓋板 焊料 本實用新型 激光焊接 金屬框 焊點 烤箱 表面涂覆 焊料鍵合 烘烤固化 緊密相連 連接方式 氣密性好 電連接 回流爐 激光焊 預焊接 封裝 焊接 密封 激光 | ||
1.一種全無機VCSEL器件，包括基座和VCSEL芯片，其特征在于：在基座上設有碗杯，碗杯頂面設有金屬層，VCSEL芯片設在碗杯內并與基座電連接，在碗杯上設有密封VCSEL芯片的玻璃蓋板，玻璃蓋板包括玻璃和金屬框，玻璃的平面度＜0.1mm，玻璃與金屬框之間通過焊料鍵合或金屬氧化物鍵合方式結合在一起，金屬框與碗杯上金屬層之間通過激光焊焊接在一起。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種全無機VCSEL器件，其特征在于：在所述玻璃上設有光擴散層，或在VCSEL芯片與玻璃之間設有光擴散片。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種全無機VCSEL器件，其特征在于：玻璃蓋板與金屬框之間熱膨脹系數(shù)之間的差值小于10％。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種全無機VCSEL器件，其特征在于：所述金屬框與碗杯之間通過激光焊接形成兩個以上焊點，相鄰焊點中心之間形成重疊部，重疊部的底面積為單個焊點底面積的50％-70％。
5.一種全無機VCSEL器件，包括基座和VCSEL芯片，其特征在于：在基座上設有碗杯，VCSEL芯片設在碗杯內并與基座電連接，在碗杯上設有密封VCSEL芯片的玻璃蓋板，玻璃蓋板的平面度＜0.1mm，玻璃蓋板與碗杯之間通過焊料鍵合。
6.根據(jù)權利要求5所述的一種全無機VCSEL器件，其特征在于：所述玻璃蓋板為設有金屬層的玻璃蓋板，在所述玻璃蓋板與碗杯之間設有通過激光預焊形成的預焊點。
7.根據(jù)權利要求5所述的一種全無機VCSEL器件，其特征在于：所述玻璃蓋板為設有金屬框的玻璃蓋板，在所述玻璃蓋板與碗杯之間設有通過激光預焊形成的預焊點。
8.根據(jù)權利要求5所述的一種全無機VCSEL器件，其特征在于：在所述玻璃上設有光擴散層，或在VCSEL芯片與玻璃之間設有光擴散片。
9.根據(jù)權利要求5所述的一種全無機VCSEL器件，其特征在于：所述玻璃蓋板、焊料與碗杯上表面材料之間熱膨脹系數(shù)之間的差值小于10％。
10.根據(jù)權利要求5所述的一種全無機VCSEL器件，其特征在于：碗杯上焊料的涂覆厚度為0.02～0.5mm。
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