[實用新型]一種氧化噴淋裝置有效
| 申請號: | 201821606075.4 | 申請日: | 2018-09-29 |
| 公開(公告)號: | CN208862006U | 公開(公告)日: | 2019-05-14 |
| 發明(設計)人: | 崔水煒;萬肇勇;黃登強;吳章平 | 申請(專利權)人: | 蘇州昊建自動化系統有限公司 |
| 主分類號: | H01L31/18 | 分類號: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250 | 代理人: | 朱靜謙 |
| 地址: | 215000 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 噴淋腔體 噴淋裝置 臭氧輸送管路 排風口 排風罩 噴淋孔 流水線 本實用新型 臭氧輸送管 二氧化硅膜 生產流水線 臭氧出口 電位誘導 封閉空間 排風風機 中空腔體 硅電池 噴淋腔 硅片 噴淋 衰減 臭氧 接通 電池 體內 | ||
1.一種氧化噴淋裝置,其特征在于,包括:
噴淋腔體(1),為設于電池流水線的中空腔體,所述噴淋腔體(1)內具有臭氧輸送管路(2),所述臭氧輸送管路(2)上具有若干臭氧出口,所述噴淋腔體(1)朝向所述流水線具有均勻分布的噴淋孔(3);
排風罩(4),對應所述噴淋腔體(1)設置,與所述噴淋腔體(1)共同組成封閉空間,所述排風罩(4)設有排風口(5),所述排風口(5)與排風風機接通。
2.根據權利要求1中所述的氧化噴淋裝置,其特征在于,所述噴淋腔體(1)和所述排風罩(4)為中空長方體,其長度方向沿所述流水線設置。
3.根據權利要求2中所述的氧化噴淋裝置,其特征在于,所述臭氧輸送管路(2)為兩條。
4.根據權利要求3中所述的氧化噴淋裝置,其特征在于,各所述臭氧輸送管路(2)平行設置。
5.根據權利要求1中所述的氧化噴淋裝置,其特征在于,所述噴淋腔體(1)具有風刀面板(6),所述噴淋孔(3)均勻設于所述風刀面板(6),所述風刀面板(6)高度可調。
6.根據權利要求5中所述的氧化噴淋裝置,其特征在于,所述噴淋腔體(1)內沿厚度方向設有若干不同高度的格擋(7),所述風刀面板(6)通過與不同高度的所述格擋(7)卡接調節高度。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件;專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發光光源在結構上相連的,并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的





