[實用新型]一種高效真空磁控濺射設備

有效

• 申請號: 201821593010.0
• 申請日: 2018-09-28
• 公開（公告）號: CN208898985U
• 公開（公告）日: 2019-05-24
• 發明（設計）人: 杜彥;王爍;劉雙;寧超;李鵬
• 申請（專利權）人: 天津南玻節能玻璃有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211
• 代理人: 李莎

1.一種高效真空磁控濺射設備，其特征在于：包括真空濺射室、設置在真空濺射室內的靶材，靶材的下方設有上遮擋板(3)，靶材的下方設有下遮擋板(4)，靶材的兩側設有側遮擋板(5)，下遮擋板(4)上設有若干截面呈長方形且相互平行的第一導粉通孔(41)，下遮擋板(4)的下方設有粉末收集盒(6)，粉末收集盒(6)內設有粉末清除機構，粉末清除機構包括設于下遮擋板(4)上且相互平行的第二導粉通孔(42)和第三導粉通孔(43)，第二導粉通孔(42)長度方向與第一導粉通孔(41)的長度方向相垂直，第二導粉通孔(42)位于第一導粉通孔(41)的一端，第三導粉通孔(43)位于第一導粉通孔(41)的另一端，第二導粉通孔(42)、第三導粉通孔(43)均與各第一導粉通孔(41)相連通，粉末清除機構還包括除粉擦(7)，除粉擦(7)與第一導粉通孔(41)一一對應，除粉擦(7)的下表面與下遮擋板(4)的上表面相貼合，除粉擦(7)的下方設有驅動除粉擦(7)沿第一導粉通孔(41)的長度方向在第二導粉通孔(42)與第一導粉通孔(41)之間往復直線運動的驅動機構(8)。

2.根據權利要求1所述的高效真空磁控濺射設備，其特征在于：驅動機構(8)包括若干移動分桿(81)和一個連接各移動分桿(81)的移動總桿(82)，移動分桿(81)與除粉擦(7)一一對應，移動分桿(81)的上端穿過第一導粉通孔(41)與除粉擦(7)固定連接，移動分桿(81)的下端位于粉末收集盒(6)內，移動總桿(82)與移動分桿(81)的下端固定連接，粉末收集盒(6)的外壁上設有氣缸(83)，氣缸(83)的伸縮桿穿過粉末收集盒(6)的側壁與移動總桿(82)固定連接以驅動移動總桿(82)沿第一導粉通孔(41)的長度方向往復直線運動。

3.根據權利要求1或2所述的高效真空磁控濺射設備，其特征在于：第一導粉通孔(41)共有六個，第一導粉通孔(41)的長度方向與下遮擋板(4)的寬度方向相同。

4.根據權利要求2所述的高效真空磁控濺射設備，其特征在于：第一導粉通孔(41)的橫截面呈上大下小的梯形，移動分桿(81)的直徑小于第一導粉通孔(41)的最下端的寬度。

5.根據權利要求1或2所述的高效真空磁控濺射設備，其特征在于：各除粉擦(7)位于同一條直線上，相鄰的除粉擦(7)之間無間隙，除粉擦(7)的下表面設有刷毛(71)。

6.根據權利要求1所述的高效真空磁控濺射設備，其特征在于：上遮擋板(3)的內表面均勻分布有多個尖刺狀的凸起(31)。

7.根據權利要求1所述的高效真空磁控濺射設備，其特征在于：粉末收集盒(6)的材質為透明的亞克力板。