[實用新型]蒸鍍加熱系統及蒸鍍系統

有效

• 申請號: 201821592777.1
• 申請日: 2018-09-28
• 公開（公告）號: CN209113979U
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: 肖新來
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/52;C23C14/14
• 代理公司: 北京華進京聯知識產權代理有限公司 11606
• 代理人: 劉誠

本申請涉及一種蒸鍍加熱系統，其包括容器、加熱裝置、激光液位監測裝置和控制裝置。所述加熱裝置和所述激光液位監測裝置均設置于所述容器。所述激光液位監測裝置用于監測液態金屬液位。所述控制裝置與所述加熱裝置和所述激光液位監測裝置連接，用于接收所述激光液位監測裝置監測的液位信號，并發送控制指令至所述加熱裝置。本申請提供的所述蒸鍍加熱系統提高了液面監控的準確性，從而提高了加熱溫度控制的準確性，進而提高了所述液態金屬蒸發速率控制的準確性，提高蒸鍍質量。

技術領域

本申請涉及蒸鍍領域，特別是涉及一種蒸鍍加熱系統及蒸鍍系統。

背景技術

液態金屬是化學生產過程及研究中常用到的材料，例如：ADS、蒸鍍、濺射等均需要用到液態金屬。

蒸鍍是制造薄膜太陽能電池的一道重要工序。蒸鍍是在真空條件下，將金屬液化蒸鍍在薄膜基材的表面，而形成金屬薄膜的一種工藝。共蒸渡是指對多種金屬源同時蒸發，以形成復合金屬薄膜的一種工藝，為得到預定結構和組成的復合金屬薄膜，共蒸鍍過程中，需要對金屬源的金屬液面位置的變化進行監控，以保證對金屬的蒸發速率和液態金屬余量的可控。

傳統技術通過控制蒸鍍加熱溫度來控制蒸鍍過程中的蒸發速率等。但是，傳統技術對蒸鍍加熱時液面的監控并不精確。

實用新型內容

針對以上技術問題，本申請提供一種蒸鍍加熱系統及蒸鍍系統。

一種蒸鍍加熱系統，包括：

容器，用于放置液態金屬；

加熱裝置，設置于所述容器，用于加熱所述液態金屬；

激光液位監測裝置，設置于所述容器，用于監測液態金屬液位；

控制裝置，與所述加熱裝置和所述激光液位監測裝置連接，用于接收所述激光液位監測裝置監測的液位信號，并發送控制指令至所述加熱裝置。

在其中一個實施例中，所述控制裝置包括：

液位采集器，所述液位采集器與所述激光液位監測裝置連接，用于采集所述液態金屬液位信息；

處理器，所述處理器與所述液位采集器連接，用于接收、處理所述液態金屬液位信息，并計算、輸出控制信息；

控制器，所述控制器與所述處理器和所述加熱裝置連接，用于根據所述控制信息控制所述加熱裝置。

在其中一個實施例中，所述激光液位監測裝置包括：

激光發射器，設置于所述容器，用于向所述液態金屬液面發射激光；

激光接收器，設置于所述容器，用于接收經所述液態金屬液面反射的激光，所述激光接收器與所述控制裝置連接。

在其中一個實施例中，所述激光液位監測裝置還包括：

光電轉換器，與所述激光接收器和所述控制裝置連接，用于將光信號轉換為電信號。

在其中一個實施例中，所述激光發射器和所述激光接收器分別設置于所述容器相對的兩個側壁。

在其中一個實施例中，所述容器與所述激光發射器相對的一側設置窗體，所述激光接收器設置于所述窗體遠離所述激光發射器的一側。

在其中一個實施例中，所述蒸鍍加熱系統還包括：

溫度監測裝置，設置于所述容器，所述溫度監測裝置與所述控制裝置連接，用于監測所述液態金屬的溫度。

在其中一個實施例中，所述蒸鍍加熱系統還包括：

液位報警裝置，所述液位報警裝置與所述控制裝置連接，用于當所述液態金屬液位低于預設閾值時報警。