[實用新型]質譜檢測裝置及其光學系統

有效

• 申請號: 201821568695.3
• 申請日: 2018-09-25
• 公開（公告）號: CN209069862U
• 公開（公告）日: 2019-07-05
• 發明（設計）人: 喻佳俊;黃利勇;林利泉;黃凱彬;朱星高;劉平;代新;曾真
• 申請（專利權）人: 廣州禾信康源醫療科技有限公司
• 主分類號: G01N27/64
• 分類號: G01N27/64;H01J49/04;H01J49/02;H01J49/40
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 林青中

1.一種質譜檢測裝置的光學系統，其特征在于，包括激光單元、照明單元、成像單元以及光學反射機構；所述激光單元、所述照明單元以及所述成像單元設于所述質譜檢測裝置的離子源腔體的外部，所述光學反射機構設于所述離子源腔體的內部；

所述激光單元的激光器為固體激光器，所述激光單元發出的激光經所述光學反射機構反射后射到樣品表面且反射的激光光線與垂直于樣品靶板的軸線的夾角大于0°且不大于10°；所述照明單元發出的照明光經所述光學反射機構反射后照射到樣品表面且經所述光學反射機構反射后的照明光光線與垂直于樣品靶板的軸線的夾角大于0°且不大于10°；所述成像單元用于接收由所述樣品反射的照明光以用于樣品成像。

2.如權利要求1所述的光學系統，其特征在于，所述激光單元包括光學固定平臺和設于所述光學固定平臺上的所述固體激光器、光路系統和殼體；

所述光路系統包括第一聚焦透鏡、準直透鏡和第二聚焦透鏡，所述固體激光器發出的激光束經所述第一聚焦透鏡產生發散的激光束，所述發散的激光束經所述準直透鏡后成為準直的激光束，所述準直的激光束經所述第二聚焦透鏡聚焦后能夠經所述光學反射機構反射后入射到樣品上；

所述第一聚焦透鏡、所述準直透鏡以及所述第二聚焦透鏡設于所述殼體內，且所述第一聚焦透鏡與所述準直透鏡之間的距離可調。

3.如權利要求2所述的光學系統，其特征在于，所述光路系統還包括濾光片，所述濾光片用于調節激光束的能量。

4.如權利要求3所述的光學系統，其特征在于，所述殼體為模塊化結構，包括依次連接的第一透鏡殼體模塊、第二透鏡殼體模塊和第三透鏡殼體模塊；所述第一聚焦透鏡、所述準直透鏡以及所述第二聚焦透鏡分別設于所述第一透鏡殼體模塊、所述第二透鏡殼體模塊和所述第三透鏡殼體模塊中；

所述第一透鏡殼體模塊與所述第二透鏡殼體模塊之間可相對運動以調節所述第一聚焦透鏡與所述準直透鏡之間的距離。

5.如權利要求4所述的光學系統，其特征在于，所述殼體還包括第一反射殼體模塊、第二反射殼體模塊和/或第三反射殼體模塊，相應地，所述光路系統還包括設于所述第一反射殼體模塊內的第一反射鏡、設于所述第二反射殼體模塊內的第二反射鏡和/或設于所述第三反射殼體模塊內的第三反射鏡；

所述第一反射殼體模塊連接于所述第一透鏡殼體模塊與所述第二透鏡殼體模塊之間，所述第二反射殼體模塊連接于所述第二透鏡殼體模塊與所述第三透鏡殼體模塊之間，所述第三反射殼體模塊連接于所述第三透鏡殼體模塊之后。

6.如權利要求5所述的光學系統，其特征在于，相鄰的殼體模塊之間通過螺紋連接結構連接在一起；

所述第一透鏡殼體模塊與所述第二透鏡殼體模塊之間相對運動是通過螺旋式調節結構進行調節的。

7.如權利要求6所述的光學系統，其特征在于，所述激光單元還包括濾光調節機構、透鏡調節機構和反射調節機構中的至少一個調節機構；

所述濾光調節機構與所述濾光片連接，以用于帶動所述濾光片轉動；

所述透鏡調節機構與所述第一透鏡殼體模塊和/或所述第二透鏡殼體模塊連接，以用于調節所述第一透鏡殼體模塊與所述第二透鏡殼體模塊的相對位置；

所述反射調節機構與所述第一反射鏡、所述第二反射鏡和/或所述第三反射鏡連接以用于調節相應的反射鏡的角度。

8.如權利要求1～7中任一項所述的光學系統，其特征在于，所述光學反射機構具有三個反射面，分別用于將入射的所述激光反射至所述樣品、將所述照明單元發出的照明光反射至所述樣品以及將所述樣品反射的照明光反射至所述成像單元。

9.如權利要求1～7中任一項所述的光學系統，其特征在于，所述成像單元包括光學鏡頭和拍攝裝置，由所述光學反射機構反射出的照明光經由所述光學鏡頭捕獲后攝入所述拍攝裝置。

10.一種質譜檢測裝置，其特征在于，包括離子源組件以及如權利要求1～9中任一項所述的光學系統；所述離子源組件包括離子源腔體、樣品靶板以及極片組件，所述樣品靶板及所述極片組件設于所述離子源腔體內且位于所述光學反射機構的下方；所述激光單元位于所述離子源腔體的一側。