[實用新型]真空腔體破氣裝置

有效

• 申請號: 201821527059.6
• 申請日: 2018-09-18
• 公開（公告）號: CN208764670U
• 公開（公告）日: 2019-04-19
• 發明（設計）人: 王光華;王旭
• 申請（專利權）人: 赫得納米科技(昆山)有限公司
• 主分類號: F17D3/01
• 分類號: F17D3/01
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 余劍琴

本實用新型公開了真空腔體破氣裝置，涉及真空設備技術領域。包括：真空腔體、與外界連通的破氣通道、用于承載產品的載盤、傳輸導軌以及氣流擋件；所述真空腔體具有與所述破氣通道適配的破氣通孔；所述破氣通道安裝在所述真空腔體的外壁、且通過所述破氣通孔與所述真空腔體內部連通；所述載盤安裝在所述傳輸導軌上，所述傳輸導軌設置在所述真空腔體內；所述氣流擋件安裝在所述真空腔體的內壁、且面向所述破氣通孔形成用于遮擋所述破氣通孔的擋面，且所述氣流擋件與所述破氣通孔之間設有距離；該真空腔體破氣裝置能夠減輕料件的刮碰。

技術領域

本實用新型涉及真空設備技術領域，尤其是涉及真空腔體破氣裝置。

背景技術

真空腔體破氣，是指將潔凈干燥的氣體，例如空氣、氮氣等，通過破氣通道灌入真空腔體內的過程。當真空腔體內氣壓值達到大氣壓強后，開啟真空腔體的閥門，取出真空腔體內的料件；生產時，真空腔體內的真空度小于1Pa，腔體內外的氣壓差達到10⁵Pa，在極短的時間內，氣體將以“沖擊波”的形式，沖入真空腔體的內部，對位于真空腔體內的料件，產生較大沖擊，沖擊作用力大于10N/cm²，在極端情況下，會將料件“吹起”，例如鍍膜遮蔽治具上蓋，在質量較輕、受力面積較大時，會被“吹起”，并卡在真空腔體上部結構中，進而造成料件刮碰的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供真空腔體破氣裝置，該真空腔體破氣裝置能夠減輕料件的刮碰。

為實現上述目的，本實用新型提供以下技術方案：

根據本實用新型的一方面，提供真空腔體破氣裝置，包括：真空腔體、與外界連通的破氣通道、用于承載產品的載盤、傳輸導軌以及氣流擋件；所述真空腔體具有與所述破氣通道適配的破氣通孔；

所述破氣通道安裝在所述真空腔體的外壁、且通過所述破氣通孔與所述真空腔體內部連通；

所述載盤安裝在所述傳輸導軌上，所述傳輸導軌設置在所述真空腔體內；

所述氣流擋件安裝在所述真空腔體的內壁、且面向所述破氣通孔形成用于遮擋所述破氣通孔的擋面，且所述氣流擋件與所述破氣通孔之間設有距離。

進一步地，所述氣流擋件為氣流擋板。

進一步地，所述真空腔體包括相對設置的上面板以及下面板、以及分別與所述上面板和所述下面板相互垂直的側面板；

所述破氣通孔開設在所述側面板上；

所述氣流擋板安裝在所述側面板上、且面向所述破氣通孔；所述氣流擋板與所述側面板的內壁設有距離、與所述上面板設有距離、以及與所述下面板設有距離。

進一步地，所述氣流擋板與所述側面板的內壁設有距離、與所述上面板設有距離、以及與所述下面板緊密接觸。

進一步地，所述氣流擋件安裝在所述真空腔體的內部、且面向所述破氣通孔形成的擋面與所述破氣通孔的周向截面相等。

進一步地，所述破氣通道為中空的柱體結構。

進一步地，所述破氣通道設有腔體，所述腔體具有與所述破氣通孔連通的出氣口以及與外界連通的進氣口；

位于所述出氣口，所述破氣通道安裝在所述真空腔體的外壁；

沿所述進氣口至所述出氣口的方向，所述腔體的尺寸逐漸增大。

進一步地，所述破氣通道為棱臺結構。

進一步地，所述氣流擋板通過安裝柱安裝在所述側面板上；

所述安裝柱一端部安裝有所述氣流擋板，另一端部可拆卸地安裝在所述側面板上。

進一步地，所述安裝柱的另一端與所述側面板螺接。