[實用新型]電弧室和浸沒式等離子體槍有效
| 申請號： | 201821519444.6 | 申請日： | 2018-09-17 |
| 公開（公告）號： | CN208954933U | 公開（公告）日： | 2019-06-07 |
| 發明（設計）人： | 曹旭東;倪明明;吳宗祐;林宗賢 | 申請（專利權）人： | 德淮半導體有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/08 | 分類號： | H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 上海盈盛知識產權代理事務所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孫佳胤;董琳 |
| 地址： | 223300 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 室壁內表面 電弧室 襯板 室壁 沉積物 電弧 室內 本實用新型 等離子體槍 保養效率 浸沒式 可拆卸 薄膜 覆蓋 | ||
【權利要求書】：
1.一種電弧室，其特征在于，包括：
室壁，所述室壁構成一腔室；
位于所述腔室內且覆蓋所述室壁內表面的襯板，所述襯板可拆卸地固定于所述室壁內表面上。
2.根據權利要求1所述的電弧室，其特征在于，所述室壁具有氣體入口以及離子束出口；所述襯板具有與所述氣體入口和離子束出口對應的開口。
3.根據權利要求1所述的電弧室，其特征在于，所述襯板與所述室壁的材料相同。
4.根據權利要求1所述的電弧室，其特征在于，所述襯板為鎢板。
5.根據權利要求1所述的電弧室，其特征在于，所述襯板的厚度為0.5cm～2cm。
6.根據權利要求1所述的電弧室，其特征在于，所述襯板與所述室壁內表面之間緊密貼合。
7.根據權利要求1所述的電弧室，其特征在于，所述襯板包括兩個以上子襯板。
8.一種浸沒式等離子體槍，其特征在于，包括：如權利要求1至7中任一項所述的電弧室。
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