[實用新型]一種陰極檢漏設備

有效

• 申請號: 201821476828.4
• 申請日: 2018-09-10
• 公開（公告）號: CN208953224U
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發明（設計）人: 蔣文彬;吳岳準
• 申請（專利權）人: 華夏易能（海南）新能源科技有限公司
• 主分類號: G01M3/34
• 分類號: G01M3/34
• 代理公司: 北京華夏泰和知識產權代理有限公司 11662
• 代理人: 孟德棟

本實用新型涉及檢測設備技術領域，具體涉及一種陰極檢漏設備。本實用新型提供的陰極檢漏設備包括檢漏儀和容納裝置，在對陰極進行檢測時，先將待檢測的陰極拆下，然后將一個符合當前生產工藝需求的陰極安裝到設備上使用，再將拆下的待檢測陰極放置到陰極維護車上，將陰極維護車推至容納裝置的下方，將容納裝置罩設在待檢測的陰極外側并密封，檢漏儀與容納腔連通，通過檢漏儀來對容納腔抽真空，并檢測陰極是否有漏；由于本申請提供的陰極檢漏裝置不需要使用設備本身的真空泵組件抽真空，因此能夠實現不停機檢測，這樣能夠大大的增加產線的產能。

技術領域

本實用新型涉及檢測設備技術領域，具體涉及一種陰極檢漏設備。

背景技術

在磁控濺射鍍膜設備中的陰極上，都會集成有工藝氣體管路，如氬氣、氮氣、氧氣、氬氧混合氣等等工藝氣體管路；用于精確分配工藝氣體用量的氣體質量流量控制器(MFC：Mass Flow Controller)及用于連接或者斷開工藝氣體管路的接頭及氣動截止閥。而在生產過程中，由于產品工藝變更，需要更換管路尺寸或者改變氣體管路連接方式及硬件(MFC及氣動截止閥) 本身出現異常的情況下。當技術人員完成以上的更換氣體管路及更換異常的硬件后，都必須對陰極進行檢漏來確保它是否能重新投入使用。在目前的情況下，我們需要一臺專用的起吊陰極的液壓車將陰極從陰極專用維修車上吊裝到磁控濺射設備上，利用磁控假設鍍膜設備中的真空泵組將設備抽真空后，再接入氦檢儀對陰極進行檢漏。

由于利用設備自身進行的真空泵組件，因此在檢漏過程中會導致此臺設備不能用于生產，其中陰極吊裝到設備后，真空泵組對設備進行抽真空需要至少25分鐘，對陰極檢漏需要至少20分鐘，如果陰極出現有漏，還需要對設備破真空，拆下陰極對漏點進行處理，處理完畢后在安裝回設備抽真空再檢漏這樣會大大影響產線的產能。

實用新型內容

(一)本實用新型所要解決的技術問題是：現有的磁控設備對飲及檢測過程中，都需要用到磁控設備本身的真空泵組件抽真空，這樣會導致該磁控設備停機，影響產線的產能。

(二)技術方案

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了一種陰極檢漏設備，包括檢漏儀和容納裝置，所述容納裝置內形成一個下端開口的容納腔，所述檢漏儀與所述容納腔連通，所述容納裝置罩在待檢測陰極上，且所述容納裝置的開口端與待檢測陰極密封連接。

進一步地，還包括支撐架、吊臂和驅動裝置，所述容納裝置與所述吊臂相連，所述吊臂的一端與所述支撐架滑動連接，所述驅動裝置用于驅動所述吊臂沿所述支撐架上下滑動。

進一步地，還包括真空波紋管，所述容納裝置上設有與所述容納腔連通的連接口，所述檢漏儀通過真空波紋管與所述連接口連通。

進一步地，所述陰極檢漏設備還包括下端設有滾輪的底座，所述支撐架固定在所述底座上。

進一步地，所述支撐架為支撐殼體，所述支撐殼體的下端與所述底座垂直連接。

進一步地，所述驅動裝置包括驅動電機和絲桿，所述驅動電機固定在所述支撐殼體的上端，所述絲桿位于所述支撐殼體內，所述驅動電機的輸出端與所述絲桿傳動連接，所述吊臂穿過所述支撐殼體與所述絲桿固定連接。

進一步地，所述支撐殼體的側壁上設有滑槽，所述滑槽由上至下開設在所述支撐殼體的外側壁上，所述絲桿上設有滑塊，所述滑塊和絲桿構成絲杠副，所述吊臂的一端穿過所述滑槽與所述滑塊垂直連接，所述吊臂的另一端位于所述底座的上側。

進一步地，還包括控制組件，所述控制組件包括電機開關、正轉按鈕和反轉按鈕，所述電機開關、正轉按鈕和反轉按鈕均固定在所述支撐殼體的外壁上，并分別與所述驅動電機電連接。

進一步地，所述容納裝置為下端開口的不銹鋼殼體，所述不銹鋼殼體的上端與所述吊臂相連。

進一步地，所述不銹鋼殼體的上端通過吊索與所述吊臂相連。