[實用新型]一種調整工具

有效

• 申請號: 201821475713.3
• 申請日: 2018-09-10
• 公開（公告）號: CN209162190U
• 公開（公告）日: 2019-07-26
• 發明（設計）人: 鄭高鋒
• 申請（專利權）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號: C23C16/46
• 分類號: C23C16/46;C23C16/52
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

1.一種調整工具，用于調整在化學氣相沉積工藝在鍍膜過程中的加熱裝置的水平度，其特征在于，包括：

一對固定架，所述固定架包括：

一水平部，所述水平部提供一承托面用以承托所述加熱裝置；

一垂直部，所述垂直部用以抵靠于所述加熱裝置的調節部件，所述垂直部設置有刻度值，所述刻度值對應于所述調節部件的垂直運動方向。

2.根據權利要求1所述的調整工具，其特征在于，所述垂直部的一端連接水平部的一端。

3.根據權利要求2所述的調整工具，其特征在于，所述垂直部連接于所述承托面的背面一側邊的中點。

4.根據權利要求3所述的調整工具，其特征在于，所述垂直部成片狀，所述垂直部的橫截面中軸垂直于所述側邊。

5.根據權利要求1所述的調整工具，其特征在于，所述水平部上具有一固定結構，通過所述固定結構固定于所述加熱裝置上。

6.根據權利要求5所述的調整工具，其特征在于，所述固定結構為螺紋孔以及配合所述螺紋孔的螺栓。

7.根據權利要求6所述的調整工具，其特征在于，所述螺紋孔的直徑為1-10mm。

8.根據權利要求1所述的調整工具，其特征在于，所述水平部的長度為100-300mm；和/或

所述水平部的寬度為50-200mm；和/或

所述水平部的厚度為5-20mm。

9.根據權利要求1所述的調整工具，其特征在于，于所述水平部遠離所述垂直部的一端具有一背向所述加熱裝置的斜面，

和或

所述垂直部的下端具有一背向所述調節部件的斜角。

10.根據權利要求1所述的調整工具，其特征在于，所述調整工具由不銹鋼材料制成。