一種背封爐氮?dú)庹止潭üぞ撸撤鉅t上設(shè)有噴頭和氮?dú)庹郑獨(dú)庹殖释矤睿乙欢搜刂搀w設(shè)有螺孔，螺釘穿過(guò)螺孔將氮?dú)庹止潭ㄔ趪婎^上，氮?dú)庹值牧硪欢嗽O(shè)有氮?dú)夤艿腊惭b孔，固定工具設(shè)置在氮?dú)夤艿腊惭b孔內(nèi)；固定工具包括喇叭狀柱體，喇叭狀柱體的圓柱段與氮?dú)夤艿腊惭b孔連接，喇叭狀柱體的喇叭段設(shè)置在氮?dú)夤艿腊惭b孔外，喇叭狀柱體的中心設(shè)有兩個(gè)通孔，兩根氮?dú)夤艿婪謩e穿過(guò)兩個(gè)通孔伸入氮?dú)庹謨?nèi)；本實(shí)用新型可以牢固的將氮?dú)庹止潭ǎ粫?huì)產(chǎn)生晃動(dòng)，大大提高了工藝的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量，并且耐高溫不易損壞，容易拆卸。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體材料生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體的說(shuō)是一種背封爐氮?dú)庹止潭üぞ摺?/p>

背景技術(shù)

半導(dǎo)體硅拋光片生產(chǎn)過(guò)程中有一道重要的工藝就是背封工藝，一種重要的背封工藝就是采用常壓化學(xué)氣象淀積（APCVD）原理在硅片背面生長(zhǎng)一層二氧化硅薄膜，執(zhí)行該背封工藝主流設(shè)備有一種是常壓式背封爐即APCVD背封爐，工作原理如下：將硅片放到履帶上，勻速通過(guò)噴頭下方，噴頭噴出硅烷與氧氣在硅片表面發(fā)生反應(yīng)，并通過(guò)氮?dú)馐怪c大氣進(jìn)行隔離，適當(dāng)?shù)臍怏w配合適當(dāng)?shù)臏囟仍诔涵h(huán)境下進(jìn)行反應(yīng)，在硅片背面生成一層二氧化硅薄膜。在生產(chǎn)過(guò)程中為保證工藝質(zhì)量，要通過(guò)氮?dú)庹郑鶆虻赝ㄈ氲獨(dú)猓瑢⒁兹家妆墓柰闅怏w與大氣進(jìn)行隔離，并將反應(yīng)的殘余氣體通過(guò)排風(fēng)帶走，所以一定要將氮?dú)庹止潭ɡ喂獭，F(xiàn)有結(jié)構(gòu)中氮?dú)庹窒露送ㄟ^(guò)兩個(gè)螺絲固定在噴頭上，上端伸出兩根氮?dú)夤艿烙靡赃B接氮?dú)鈿庠矗绻患右远氯潭ǎ獨(dú)夤艿廊菀谆顒?dòng)，導(dǎo)致氣流不穩(wěn)影響工藝質(zhì)量。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是為了解決上述技術(shù)問(wèn)題的不足，本實(shí)用新型提出一種背封爐氮?dú)庹止潭üぞ撸梢岳喂痰膶⒌獨(dú)庹止潭ǎ粫?huì)產(chǎn)生晃動(dòng)，大大提高了工藝的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量，并且耐高溫不易損壞，容易拆卸。

本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問(wèn)題的不足而采用的技術(shù)方案是：一種背封爐氮?dú)庹止潭üぞ撸撤鉅t上設(shè)有噴頭和氮?dú)庹郑龅獨(dú)庹殖释矤睿乙欢搜刂搀w設(shè)有螺孔，螺釘穿過(guò)所述螺孔將所述氮?dú)庹止潭ㄔ谒鰢婎^上，所述氮?dú)庹值牧硪欢嗽O(shè)有氮?dú)夤艿腊惭b孔，固定工具設(shè)置在所述氮?dú)夤艿腊惭b孔內(nèi)；所述固定工具包括喇叭狀柱體，所述喇叭狀柱體的圓柱段與所述氮?dú)夤艿腊惭b孔連接，所述喇叭狀柱體的喇叭段設(shè)置在所述氮?dú)夤艿腊惭b孔外，所述喇叭狀柱體的中心設(shè)有兩個(gè)通孔，兩根氮?dú)夤艿婪謩e穿過(guò)兩個(gè)所述通孔伸入所述氮?dú)庹謨?nèi)。

進(jìn)一步的，所述氮?dú)夤艿腊惭b孔內(nèi)設(shè)有內(nèi)螺紋，所述喇叭狀柱體的圓柱段外表面設(shè)有外螺紋，所述圓柱段與所述氮?dú)夤艿腊惭b孔通過(guò)所述內(nèi)螺紋和外螺紋固定連接。

進(jìn)一步的，所述圓柱段的直徑小于所述氮?dú)夤艿腊惭b孔，所述氮?dú)夤艿腊惭b孔和所述圓柱段之間設(shè)有半環(huán)狀插片。

進(jìn)一步的，所述半環(huán)狀插片包括半環(huán)狀膨脹墊片和按壓板，所述半環(huán)狀膨脹墊片插在所述氮?dú)夤艿腊惭b孔和所述圓柱段之間，所述按壓板設(shè)置在所述氮?dú)夤艿腊惭b孔外，所述半環(huán)狀膨脹墊片的材質(zhì)為遇水膨脹橡膠。

進(jìn)一步的，所述半環(huán)狀膨脹墊片的厚度小于所述氮?dú)夤艿腊惭b孔的孔徑與所述圓柱段的外徑差，膨脹后所述半環(huán)狀膨脹墊片的厚度不小于所述氮?dú)夤艿腊惭b孔的孔徑與所述圓柱段的外徑差。

本實(shí)用新型的有益效果是：

（1）本實(shí)用新型提供了一種背封爐氮?dú)庹止潭üぞ撸ㄒ粋€(gè)喇叭狀柱體，該喇叭狀柱體分為圓柱段和喇叭段，其中圓柱段直徑略小于氮?dú)夤艿腊惭b孔的直徑，可將其塞進(jìn)氮?dú)夤艿腊惭b孔內(nèi)，喇叭段呈發(fā)散型，直徑大于氮?dú)夤艿腊惭b孔的直徑，不會(huì)使該固定工具掉進(jìn)氮?dú)夤艿腊惭b孔內(nèi)；現(xiàn)有結(jié)構(gòu)中，往往直接將氮?dú)夤艿婪湃氲獨(dú)夤艿腊惭b孔內(nèi)，常會(huì)出現(xiàn)固定不牢靠，氮?dú)夤艿纴?lái)回晃動(dòng)的現(xiàn)象，本實(shí)用新型中在喇叭狀柱體的中心設(shè)有兩個(gè)通孔，工作時(shí)將兩根氮?dú)夤艿婪謩e穿進(jìn)該通孔內(nèi)，再將喇叭狀柱體塞進(jìn)氮?dú)夤艿腊惭b孔內(nèi)，這樣可以保證氮?dú)夤艿览喂痰毓潭ǎ粫?huì)產(chǎn)生晃動(dòng)，避免因氣流不穩(wěn)影響工藝質(zhì)量；