[實用新型]一種真空蒸發設備冷卻系統

有效

• 申請號: 201821460539.5
• 申請日: 2018-09-06
• 公開（公告）號: CN209010591U
• 公開（公告）日: 2019-06-21
• 發明（設計）人: 魏濱
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京華夏泰和知識產權代理有限公司 11662
• 代理人: 孟德棟

1.一種真空蒸發設備冷卻系統，其特征在于，包括多個冷卻管組件，相鄰兩個所述冷卻管組件通過管路相連通；所述冷卻管組件包括多個冷卻管和用于將所述冷卻管安裝在真空蒸發設備上的安裝機構，所述冷卻管內填裝有冷卻液體，多個所述冷卻管間隔布設，且相鄰兩個冷卻管相連通，其中，每個所述冷卻管均具有與所述真空蒸發設備相貼合的冷卻表面。

2.根據權利要求1所述的真空蒸發設備冷卻系統，其特征在于，所述冷卻管的截面形狀為多邊形。

3.根據權利要求1所述的真空蒸發設備冷卻系統，其特征在于，多個所述冷卻管包括依次間隔設置的第一冷卻管、第二冷卻管和第三冷卻管，所述第一冷卻管、第二冷卻管和第三冷卻管均具有首端和尾端，其中，所述第一冷卻管的首端與所述第二冷卻管的首端通過連接管相連接，所述第二冷卻管的尾端通過連接管與所述第三冷卻管的尾端相連接。

4.根據權利要求3所述的真空蒸發設備冷卻系統，其特征在于，所述連接管與所述冷卻管相焊接，或，所述連接管與所述冷卻管一體成型。

5.根據權利要求1所述的真空蒸發設備冷卻系統，其特征在于，所述安裝機構包括多個安裝組件，多個所述安裝組件分別與所述冷卻管和真空蒸發設備相連接。

6.根據權利要求5所述的真空蒸發設備冷卻系統，其特征在于，所述安裝組件包括限位板和連接件，所述限位板具有第一限位部和第二限位部，所述第一限位部與相鄰兩個冷卻管中的一個限位配合，所述第二限位部與相鄰兩個冷卻管中的另一個限位配合，所述連接件的相對兩端分別與所述限位板和所述真空蒸發設備可拆卸連接。

7.根據權利要求6所述的真空蒸發設備冷卻系統，其特征在于，所述第一限位部為與所述冷卻管形狀尺寸相適配的卡槽，和/或，所述第二限位部為與所述冷卻管形狀尺寸相適配的卡槽。

8.根據權利要求6所述的真空蒸發設備冷卻系統，其特征在于，所述連接件包括螺栓。

9.根據權利要求1-8任一項所述的真空蒸發設備冷卻系統，其特征在于，真空蒸發設備包括多個間隔布設的框架，每個所述框架均具有頂面、底面及多個側面；多個所述冷卻管組件包括第一冷卻管組件和第二冷卻管組件，至少一個所述第一冷卻管組件安裝在所述框架的頂面或底面，至少一個所述第二冷卻管組件安裝在所述框架的側面。

10.根據權利要求1-8任一項所述的真空蒸發設備冷卻系統，其特征在于，相鄰兩個所述冷卻管組件通過軟管相連接。