[實用新型]一種MPCVD金剛石膜基片

有效

• 申請號: 201821433611.5
• 申請日: 2018-09-03
• 公開（公告）號: CN209178474U
• 公開（公告）日: 2019-07-30
• 發明（設計）人: 龔闖;吳劍波;朱長征;余斌
• 申請（專利權）人: 上海征世科技有限公司
• 主分類號: C23C16/27
• 分類號: C23C16/27;C23C16/511;C23C16/513;C23C16/517;C23C16/54
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 馮子玲

1.一種MPCVD金剛石膜基片，其特征在于，所述MPCVD金剛石膜基片包括MPCVD金剛石層，所述金剛石層兩側分別設有相對稱的卡槽，每個卡槽內內嵌有泡沫鋁層，所述金剛石層兩側分別焊接有第一散熱層和第二散熱層，所述第一散熱層上設有第一連接柱，所述第二散熱層上設有第二連接柱，所述MPCVD金剛石膜基片還包括第一硬質合金層和第二硬質合金層，所述第一硬質合金層上設有第一連接槽，所述第一連接槽與第一連接柱可拆卸連接，所述第二硬質合金層上設有第二連接槽，所述第二連接槽與第二連接柱可拆卸連接。

2.根據權利要求1所述的一種MPCVD金剛石膜基片，其特征在于，所述第一連接柱與第一連接槽之間通過螺紋方式連接。

3.根據權利要求1所述的一種MPCVD金剛石膜基片，其特征在于，所述第二連接柱與第二連接槽之間通過螺紋方式連接。

4.根據權利要求1所述的一種MPCVD金剛石膜基片，其特征在于，所述第一散熱層由鋁合金或銅制成。

5.根據權利要求1所述的一種MPCVD金剛石膜基片，其特征在于，所述第二散熱層層由鋁合金或銅制成。

6.根據權利要求1所述的一種MPCVD金剛石膜基片，其特征在于，所述MPCVD金剛石層的厚度為0.5mm～3mm。

7.根據權利要求1所述的一種MPCVD金剛石膜基片，其特征在于，所述第一硬質合金層和第二硬質合金層的厚度都為1mm～2mm。

8.根據權利要求1所述的一種MPCVD金剛石膜基片，其特征在于，所述第一散熱層和第二散熱層的厚度都為0.05mm～0.1mm。

9.根據權利要求1所述的一種MPCVD金剛石膜基片，其特征在于，所述第一連接柱和第二連接柱由鋁合金或銅制成。