[實用新型]集成電路去除裝置

有效

• 申請號: 201821428249.2
• 申請日: 2018-08-31
• 公開（公告）號: CN208608183U
• 公開（公告）日: 2019-03-15
• 發明（設計）人: 張駿;張正元;曲法新;王凱;王偉;王濤;賀貝貝
• 申請（專利權）人: 合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/67
• 代理公司: 北京三高永信知識產權代理有限責任公司 11138
• 代理人: 劉小鶴

1.一種集成電路去除裝置，其特征在于，所述集成電路去除裝置包括：

操作臺，所述操作臺被配置為放置器件，所述器件的指定面綁定有集成電路；

加熱組件，所述加熱組件用于加熱所述操作臺上的加熱區，所述集成電路在所述操作臺上的正投影位于所述加熱區中；

出風組件，所述出風組件的出風口正對位于所述操作臺上的器件上的集成電路，且出風方向不與所述指定面垂直。

2.根據權利要求1所述的集成電路去除裝置，其特征在于，所述集成電路去除裝置還包括：

開口容器，所述開口容器位于所述操作臺所述出風方向的一側。

3.根據權利要求2所述的集成電路去除裝置，其特征在于，所述開口容器內壁設置有柔性墊層。

4.根據權利要求2所述的集成電路去除裝置，其特征在于，所述開口容器中設置有防靜電組件。

5.根據權利要求1所述的集成電路去除裝置，其特征在于，所述加熱組件包括碳硅棒加熱器，所述碳硅棒加熱器位于所述操作臺遠離所述器件的一側，

所述碳硅棒加熱器包括加熱端，所述加熱端位于所述操作臺的加熱區。

6.根據權利要求5所述的集成電路去除裝置，其特征在于，所述操作臺的加熱區為開口區域。

7.根據權利要求1所述的集成電路去除裝置，其特征在于，所述出風組件包括離子出風器。

8.根據權利要求1所述的集成電路去除裝置，其特征在于，所述集成電路去除裝置還包括：

第一傳送組件，所述第一傳送組件包括傳送帶或機械臂，用于將所述器件傳送至所述操作臺。

9.根據權利要求8所述的集成電路去除裝置，其特征在于，所述集成電路去除裝置還包括：

第二傳送組件，所述第二傳送組件包括傳送帶或機械臂，用于將所述器件移出所述操作臺。

10.根據權利要求1-9任一所述的集成電路去除裝置，其特征在于，所述集成電路去除裝置還包括：

潔凈室，所述操作臺、加熱組件和出風組件均位于所述潔凈室中。