[實用新型]一種半導體存儲器高低溫老化測試箱

有效

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• 申請日: 2018-08-30
• 公開（公告）號: CN208737883U
• 公開（公告）日: 2019-04-12
• 發(fā)明（設計）人: 陳凱;張慶勛;鄧標華;周璇
• 申請（專利權）人: 武漢精鴻電子技術有限公司
• 主分類號: G11C29/56
• 分類號: G11C29/56
• 代理公司: 武漢東喻專利代理事務所(普通合伙) 42224
• 代理人: 趙偉

本實用新型屬于半導體存儲器高低溫老化測試技術領域，公開了一種半導體存儲器高低溫老化測試箱,設置有常溫區(qū)，以及一組或多組由第一溫度區(qū)、第二溫度區(qū)、隔離區(qū)構成的測試區(qū)；兩個溫度區(qū)的溫差恒定；常溫區(qū)用于放置上位機、交換機，設置有為上位機和交換機散熱的散熱裝置；測試區(qū)用于放置半導體存儲器老化測試設備；第一溫度區(qū)用于放置老化測試系統(tǒng)的第一背板，以及在第一背板上可拔插的測試核心板；第二溫度區(qū)用于放置第二背板和在第二背板上可拔插的測試板；隔離區(qū)設置有直通板，通過直通板將位于第一溫度區(qū)的測試核心板發(fā)送的測試信號和電源信號傳輸到位于第二溫度區(qū)的測試板；隔離區(qū)側面設置有對直通板散熱的散熱器，以減少第二溫度區(qū)溫度對第一溫度區(qū)的影響。

技術領域

本實用新型屬于半導體老化測試技術領域，更具體地，涉及一種半導體存儲器高低溫老化測試箱。

背景技術

半導體存儲器有一定的失效概率，其失效概率與使用次數之間的關系符合浴缸曲線的特性，開始使用時存儲器的失效概率高，當經過一定使用次數后失效概率大幅降低，直到接近或達到其使用壽命后，存儲器的失效概率又會升高。至今無任何存儲器制造商敢忽略半導體存儲器的失效問題，一般通過老化測試(Test During burn-in，TDBI)來加速存儲器失效概率的出現(xiàn)，直接讓其進入產品穩(wěn)定期來解決該問題。

半導體存儲器老化測試的總體方案是給被測半導體存儲器供給電源信號和測試信號，在高低溫或常溫下讓被測半導體存儲器連續(xù)不間斷地工作設定的時間，此過程稱為老化(burn-in)，由此來加速半導體存儲器件的失效，篩選出良品。由于半導體存儲器的種類很多，應用廣泛，量大、性能較高且工作溫度范圍廣，因此需要有一套容量靈活、可擴展性好、寬溫度范圍、功能豐富、架構可靠性和性價比均高的老化測試系統(tǒng)才能滿足實際應用。現(xiàn)有半導體存儲器老化測試箱與上述需求相比，都存在一定的差距和不足。

公開號為CN103823171A的中國專利公開了一種集成電路高溫老化測試系統(tǒng)及高溫老化測試方法，將功能性測試板卡直接設計到高溫老化裝置內部以減少測試空間；將功能性測試和高溫老化測試進行合并，以減少測試時間；從而達到降低測試成本的目的。但其置于高溫老化裝置中的測試板的性能受溫度的影響會非常大，并且沒有給出低溫測試方案；而且該測試方案為常規(guī)集成電路的通用測試方法，而非專門針對半導體存儲器的測試方法。

公開號為CN1482660A的中國專利公開了測試加燒機系統(tǒng)，公開了測試加燒機系統(tǒng)中燒機室(老化室)的內外布局，以及放于老化室內的燒機板和放于爐外的延伸電路板；其優(yōu)點是高低溫測試和常溫測試可以同時進行而不相互影響，節(jié)約了測試時間和成本；但該專利文件未公開燒機板和延伸電路板具體的性能、功能、結構及布局；且該測試加燒機系統(tǒng)在高低溫下，燒機板的性能會受到較大影響。

實用新型內容

針對現(xiàn)有技術的以上缺陷或改進需求，本實用新型提供了一種半導體存儲器高低溫老化測試箱，其目的在于通過分區(qū)設計以及溫度分區(qū)控制，減少對測試設備不必要的溫度沖擊。

為實現(xiàn)上述目的，按照本實用新型的一個方面，提供了一種半導體存儲器高低溫老化測試箱，設置一組或多組由第一溫度區(qū)、第二溫度區(qū)和設置在第一溫度區(qū)與第二溫度區(qū)之間的隔離區(qū)構成的測試區(qū)；第一溫度區(qū)的溫度為恒定值或設置成跟蹤第二溫度區(qū)溫度的溫度范圍，使第一、第二兩個溫度區(qū)的溫差保持恒定，以避免第二溫度區(qū)結霜或者損壞測試系統(tǒng)；

測試區(qū)用于放置半導體存儲器老化測試設備；其中，第一溫度區(qū)用于放置老化測試系統(tǒng)的第一背板，以及在第一背板上可拔插的測試核心板；第二溫度區(qū)用于放置第二背板和在第二背板上可拔插的測試板；

隔離區(qū)設置有直通板，通過直通板將位于第一溫度區(qū)的測試核心板的信號和電源傳輸到位于第二溫度區(qū)的測試板；隔離區(qū)側面設置有對直通板散熱的散熱器，以減少第二溫度區(qū)溫度對第一溫度區(qū)的影響。

優(yōu)選的，上述半導體存儲器高低溫老化測試箱，設置有常溫區(qū)，所述常溫區(qū)用于放置上位機、交換機；所述常溫區(qū)內設置有為上位機、交換機散熱的散熱裝置。