[實用新型]一種利用掩膜約束液態(tài)金屬制作電極的裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821416557.3
• 申請日: 2018-08-30
• 公開（公告）號: CN208840649U
• 公開（公告）日: 2019-05-10
• 發(fā)明（設計）人: 梁世雍;于兆勤;林志彪;劉江文;肖成龍
• 申請（專利權）人: 廣東工業(yè)大學
• 主分類號: B23H1/04
• 分類號: B23H1/04;B22D19/00
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權代理有限公司 11227
• 代理人: 羅滿

本實用新型公開了一種利用掩膜約束液態(tài)金屬制作電極的裝置，包括：工作平臺用于放置工件；活動模板設置有與所需電極結(jié)構互補的鏤空區(qū)域，用于放置在工件上表面并將鏤空區(qū)域與工件緊貼結(jié)合；夾具設置在工作平臺，用于將活動模板和工件緊貼結(jié)合后固定；金屬液體輸出部設置在活動模板的上方，用于將輸出的金屬液體注入活動模板的鏤空區(qū)與工件結(jié)合冷卻凝固后形成微電極；金屬液體清潔部設置在活動模板的上方用于將活動模板上表面多余的金屬液體清除。通過將需要的電極形狀設置在活動模板形成鏤空區(qū)域，與工件緊貼固定后，在鏤空區(qū)域中注入液態(tài)金屬，存在于鏤空區(qū)的液態(tài)金屬凝固后與工件結(jié)合形成微電極，工藝過程簡單，成本較低，省去了預處理的時間。

技術領域

本實用新型涉及電加工技術領域，特別是涉及一種利用掩膜約束液態(tài)金屬制作電極的裝置。

背景技術

電加工中使用的工具電極主要依賴于傳統(tǒng)的機械加工制成，對于尺寸較小或者形狀較為復雜的工具電極，目前主要采用的方法有微細電鑄、微細電火花加工等方法。其中，微細電鑄主要是采用光刻技術，在工件表面上制作一層掩膜，利用電解效應在掩膜的鏤空區(qū)域生長出一系列微電極，從而形成陣列電極。微細電火花加工分為電火花反拷法和微細電火花線切割法，微細電火花反拷法是利用單個電極制造出陣列結(jié)構之后，再用該陣列結(jié)構作為陽極加工出陣列微電極。微細切割方法，則是根據(jù)所需電極的形狀一步步去除成形。

采用電火花反拷加工方法制造陣列電極，技術成本相當高，在制作過程花費周期長而且工藝復雜。電火花線切割雖然可以一次加工形成電極，但卻無法加工出復雜結(jié)構的電極。而采用一般的電鑄法來加工陣列微電極，需要在每一個工件表面都制作一層掩膜，花費時間較長，而且電鑄完之后，掩膜難以去除干凈，去除掩膜時產(chǎn)生強大的應力也容易破壞電鑄成形的微結(jié)構。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的是提供了一種利用掩膜約束液態(tài)金屬制作電極的裝置，制成電極的工藝簡單、成本較低、制造周期短，能夠制造出復雜電極結(jié)構。

為解決上述技術問題，本實用新型實施例提供了一種利用掩膜約束液態(tài)金屬制作電極的裝置，包括：

工作平臺，所述工作平臺用于放置工件；

活動模板，所述活動模板設置有與所需電極結(jié)構互補的鏤空區(qū)域，用于放置在所述工件上表面并將所述鏤空區(qū)域與所述工件緊貼結(jié)合；

夾具，所述夾具設置在所述工作平臺，用于將所述活動模板和所述工件緊貼結(jié)合后固定；

金屬液體輸出部，所述金屬液體輸出部設置在所述活動模板的上方，用于將輸出的金屬液體注入所述活動模板的鏤空區(qū)與所述工件結(jié)合冷卻凝固后形成微電極；

金屬液體清潔部，所述金屬液體清潔部設置在所述活動模板的上方用于將所述活動模板上表面多余的金屬液體清除。

其中，還包括設置在所述工作平臺的導軌，所述導軌位于所述工件的上方，所述金屬液體輸出部、所述金屬液體清潔部設置在所述導軌。

其中，還包括設置在所述導軌的滑塊，所述金屬液體輸出部、所述金屬液體清潔部通過所述滑塊與所述導軌連接。

其中，所述活動模板為橡膠活動模板或有機玻璃活動模板。

其中，還包括設置在所述工作平臺的制冷器，用于對所述工件的底部進行冷卻。

其中，還包括設置在所述夾具用于檢測所述夾具與所述活動模板之間壓力的壓力傳感器。

本實用新型實施例所提供的利用掩膜約束液態(tài)金屬制作電極裝置，與現(xiàn)有技術相比，具有以下優(yōu)點：