[實用新型]一種自控型靶材金屬化裝置

有效

• 申請號: 201821389601.6
• 申請日: 2018-08-28
• 公開（公告）號: CN208791766U
• 公開（公告）日: 2019-04-26
• 發明（設計）人: 張磊;陳良杰;郭校亮;張建帥
• 申請（專利權）人: 青島藍光晶科新材料有限公司
• 主分類號: C23C26/00
• 分類號: C23C26/00;C23C14/34
• 代理公司: 青島發思特專利商標代理有限公司 37212
• 代理人: 鞏同海

本實用新型涉及一種自控型靶材金屬化裝置，屬于靶材金屬化技術領域。本實用新型包括固定基座和設于固定基座上方的支撐架，支撐架上固定安裝有彈力套筒，彈力套筒內安裝有震動棒，震動棒的末端安裝有涂銦頭，固定基座上設有移動平臺，移動平臺上方固定有加熱平臺，靶材設于加熱平臺上，移動平臺在電機帶動下移動，彈力套筒的頂端設有壓力傳感器，壓力傳感器和電機均與PLC控制器連接，本實用新型實現靶材金屬化過程的自動控制，可以穩定控制靶材金屬化過程，降低金屬化對操作人員操作數量程度的依賴，同時降低操作人員的勞動強度；通過PLC控制器、壓力傳感器和報警器確保涂銦頭的壓力值處于一定范圍內，從而保證金屬化厚度一致。

技術領域

本實用新型涉及一種自控型靶材金屬化裝置，屬于靶材金屬化技術領域。

背景技術

傳統靶材金屬化過程中，采用超聲涂銦機進行，操作過程中，操作人員手持震動棒進行涂銦操作，這就對操作人員的操作熟練程度有很高的要求，金屬化質量的統一性無法很好的保證。同時，由于整個過程中，操作人員持續手持震動棒進行操作，增加操作人員的勞動強度，而且，金屬化過程中需要加熱處理，操作環境比較惡劣，對操作人員考驗較大，長時間的工作，易出現操作疲勞，甚至損傷操作人員健康。

實用新型內容

本實用新型的目的在于克服現有涂銦過程中存在的上述缺陷，提出了一種自控型靶材金屬化裝置，可以確保靶材金屬化的質量一致，同時降低該工作對操作人員技術能力要求。

本實用新型是采用以下的技術方案實現的：

一種自控型靶材金屬化裝置，包括固定基座和設于固定基座上方的支撐架，所述支撐架上固定安裝有彈力套筒，所述彈力套筒內安裝有震動棒，所述震動棒的末端安裝有涂銦頭，所述固定基座上設有移動平臺，所述移動平臺上方固定有加熱平臺，靶材設于所述加熱平臺上，所述移動平臺在電機帶動下移動，所述彈力套筒的頂端設有壓力傳感器，所述壓力傳感器和電機均與PLC控制器連接。

進一步地，所述電機包括X軸電機和Y軸電機，所述X軸電機的電機軸連接有滾珠絲桿Ⅰ，所述滾珠絲桿Ⅰ連接有螺母座Ⅰ，所述螺母座上連接有Y軸電機，所述Y軸電機的電機軸連接有滾珠絲桿Ⅱ，所述滾珠絲桿Ⅱ連接有螺母座Ⅱ，所述移動平臺設于螺母座Ⅱ上。

進一步地，所述PLC控制器連接有顯示屏用于顯示涂銦過程中涂銦頭與靶材接觸的壓力值。

進一步地，所述PLC控制器連接有報警器，檢測到涂銦頭的壓力值超過閾值后控制報警器進行報警。

進一步地，所述支撐架由橫向桿和可伸縮的縱向桿組建而成，調節支撐架的縱向桿以調節涂銦頭與靶材的接觸，使得壓力值在一個合適的范圍。

進一步地，所述縱向桿上設有調節旋鈕。

進一步地，所述涂銦頭的壓力值的合理范圍為3-5N。

本實用新型的有益效果是：

實現靶材金屬化過程的自動控制，利用該裝置可以穩定控制靶材金屬化過程，降低金屬化對操作人員操作數量程度的依賴，同時降低操作人員的勞動強度；通過PLC控制器、壓力傳感器和報警器確保涂銦頭的壓力值處于一定范圍內，從而保證金屬化厚度一致。

附圖說明

圖1是本實用新型的結構示意圖。

圖中：1彈力套筒；2震動棒；3壓力傳感器；4縱向桿；5調節旋鈕；6涂銦頭；7銦層；8靶材；9加熱平臺；10 X軸電機；11移動平臺；12固定基座；13 Y軸電機。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步說明。