[實(shí)用新型]一種高功率水冷燒測(cè)設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821371258.2
• 申請(qǐng)日: 2018-08-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208705439U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-04-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 付亮;賴祖喜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東莞市捷新檢測(cè)設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): G01R31/26
• 分類號(hào): G01R31/26
• 代理公司: 深圳市智圈知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44351
• 代理人: 韓紹君

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種高功率水冷燒測(cè)設(shè)備，用于對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品進(jìn)行燒測(cè)，包括機(jī)架、用于放置燒測(cè)半導(dǎo)體產(chǎn)品的水冷散熱板、水冷控制系統(tǒng)、溫度控制系統(tǒng)、風(fēng)路循環(huán)系統(tǒng)及半導(dǎo)體產(chǎn)品測(cè)試電源，機(jī)架內(nèi)設(shè)有一穩(wěn)定溫濕度的腔體，腔體后側(cè)面上部開(kāi)設(shè)一出風(fēng)口及下部開(kāi)設(shè)一回風(fēng)口，風(fēng)路循環(huán)系統(tǒng)產(chǎn)生的風(fēng)通過(guò)出風(fēng)口到箱體再由回風(fēng)口循環(huán)，若干個(gè)水冷散熱板均勻排列分布于腔體內(nèi)壁，水冷控制系統(tǒng)及溫度控制系統(tǒng)均設(shè)于機(jī)架上，水冷控制系統(tǒng)、溫度控制系統(tǒng)均與水冷散熱板連接，水冷控制系統(tǒng)與溫度控制系統(tǒng)連接，半導(dǎo)體產(chǎn)品放置于水冷散熱板上與測(cè)試電源連接。該高功率水冷燒測(cè)設(shè)備能進(jìn)行及時(shí)散熱，且對(duì)燒測(cè)環(huán)境的溫度進(jìn)行精準(zhǔn)控制，從而能保證燒測(cè)數(shù)據(jù)的可靠性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及機(jī)械設(shè)備的技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種高功率水冷燒測(cè)系統(tǒng)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體產(chǎn)品壽命加速實(shí)驗(yàn)，可以縮短壽命驗(yàn)證時(shí)間，加速失效出現(xiàn)并進(jìn)行可靠性分析，從而縮短產(chǎn)品研發(fā)周期，優(yōu)化產(chǎn)品使用方法，目前市場(chǎng)上常用老化治具焊接半導(dǎo)體，放入高溫箱中，通過(guò)高溫箱控溫來(lái)保證壽命加速熱應(yīng)力，即為燒測(cè)。高功率半導(dǎo)體元件在燒測(cè)過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量熱量，如無(wú)法及時(shí)散熱會(huì)嚴(yán)重影響燒測(cè)數(shù)據(jù)可靠性認(rèn)定。

現(xiàn)有技術(shù)中在燒測(cè)的設(shè)備中全部采用自然冷卻或風(fēng)扇強(qiáng)制對(duì)流冷卻方式進(jìn)行散熱，此類方式需安裝很大散熱器或風(fēng)扇進(jìn)行對(duì)流冷卻，會(huì)造成對(duì)產(chǎn)品周邊環(huán)境溫度影響升高，進(jìn)而會(huì)對(duì)半導(dǎo)體元件散熱帶來(lái)不良影響，造成半導(dǎo)體元件在燒測(cè)過(guò)程中TS溫度不穩(wěn)定而影響燒測(cè)數(shù)據(jù)的可靠性，從而無(wú)法準(zhǔn)確地對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行不良分析；且大散熱器占用較大空間，從而使得燒測(cè)設(shè)備放置的半導(dǎo)體元件數(shù)量有限，影響燒測(cè)效率。

為此，我們提出了一種高功率水冷燒測(cè)設(shè)備。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的主要目的在于提供了一種高功率水冷燒測(cè)設(shè)備，具有及時(shí)散熱功能、保證燒測(cè)數(shù)據(jù)的可靠性、增加半導(dǎo)體元件的燒測(cè)空間且能應(yīng)用于大發(fā)熱功率的半導(dǎo)體產(chǎn)品的優(yōu)點(diǎn)。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供了一種高功率水冷燒測(cè)設(shè)備，用于對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品進(jìn)行燒測(cè)，包括機(jī)架、用于放置燒測(cè)半導(dǎo)體產(chǎn)品的水冷散熱板、水冷控制系統(tǒng)、溫度控制系統(tǒng)、風(fēng)路循環(huán)系統(tǒng)及測(cè)試電源，所述機(jī)架內(nèi)設(shè)有一穩(wěn)定溫濕度的腔體，所述腔體后側(cè)面上部開(kāi)設(shè)一出風(fēng)口及下部開(kāi)設(shè)一回風(fēng)口，所述風(fēng)路循環(huán)系統(tǒng)產(chǎn)生的風(fēng)通過(guò)所述出風(fēng)口及所述回風(fēng)口循環(huán)，若干個(gè)所述水冷散熱板均勻排列分布于所述腔體內(nèi)壁，所述水冷控制系統(tǒng)及所述溫度控制系統(tǒng)均設(shè)于所述機(jī)架上，所述水冷控制系統(tǒng)、所述溫度控制系統(tǒng)均與所述水冷散熱板連接，所述水冷控制系統(tǒng)與所述溫度控制系統(tǒng)連接，所述半導(dǎo)體產(chǎn)品放置于水冷散熱板上與所述測(cè)試電源連接。

優(yōu)選的，所述水冷散熱板包含金屬底板、水路腔體、測(cè)試蓋板及用于放置燒測(cè)的半導(dǎo)體產(chǎn)品的PCB板，所述金屬底板、所述水路腔體、所述測(cè)試蓋板及所述PCB板依次疊加。

優(yōu)選的，所述PCB板上均勻設(shè)有若干個(gè)固定點(diǎn)，每個(gè)所述半導(dǎo)體產(chǎn)品分別安裝于對(duì)應(yīng)的所述固定點(diǎn)上。

優(yōu)選的，所述水冷控制系統(tǒng)包含調(diào)節(jié)水溫的溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、出水口、進(jìn)水口及水管，所述出水口、所述進(jìn)水口均與所述水冷散熱板連接，通過(guò)所述溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)調(diào)整水溫后的水在所述水冷散熱板與所述水冷控制系統(tǒng)的所述水管中循環(huán)流動(dòng)。

優(yōu)選的，所述溫度控制系統(tǒng)包含若干個(gè)用于測(cè)量每一個(gè)水冷散熱板溫度的第一溫度傳感器，所述第一溫度傳感器安裝于每個(gè)所述水冷散熱板內(nèi)部。

優(yōu)選的，所述的高功率水冷燒測(cè)設(shè)備還包括TS溫度測(cè)量系統(tǒng)，所述TS溫度測(cè)量系統(tǒng)包含用于測(cè)量半導(dǎo)體產(chǎn)品TS溫度的第二溫度傳感器，所述第二溫度傳感器貼于所述水冷散熱板上的所述半導(dǎo)體產(chǎn)品的TS管腳上。

優(yōu)選的，所述的高功率水冷燒測(cè)設(shè)備還包括控制面板，所述控制面板上還包含電源開(kāi)關(guān)、照明開(kāi)關(guān)及控制器顯示屏。