[發明專利]曝光裝置

有效

• 申請號: 200910173460.3
• 申請日: 2009-09-18
• 公開（公告）號: CN101713928A
• 公開（公告）日: 2010-05-26
• 發明（設計）人: 住友卓;蕪木清幸;橫田利夫
• 申請（專利權）人: 優志旺電機株式會社
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 陸錦華;關兆輝

1.一種曝光裝置，具有：放射紫外線的光源；激光裝置，用于向 該光源射入供給能量的激光；橢圓反射鏡，反射從該光源放射的紫外 線；以及光學系統，使從配置在該橢圓反射鏡的第1焦點上的該光源 放射的光在該橢圓反射鏡上反射，并經由包含準直透鏡、積分透鏡在 內的光學元件照射被照射物，上述曝光裝置的特征在于，

為了從該橢圓反射鏡的開口側向該光源射入激光，在被該橢圓反 射鏡反射的光的光路中設置具有波長選擇功能的光束分離器，

上述光源具備在放電容器內相對的一對電極，與該電極電連接的 供電部從燈泡部的兩端突出，連接該電極并通過各該供電部的燈軸與 上述橢圓反射鏡的長軸大致一致，

上述激光裝置在激光的射出口側具有形成激光不會直接射入該光 源的供電部及放電容器的中空光的構件。

2.如權利要求1所述的曝光裝置，其特征在于，

上述光束分離器被設置在比該光路中的積分透鏡更靠近光源側、 且該光路中的光為大致平行光的范圍。

3.如權利要求1所述的曝光裝置，其特征在于，

上述光束分離器被設置在比該橢圓反射鏡的第2焦點更靠近光源 側、且連接該橢圓反射鏡的第1焦點與第2焦點的直線上。

4.如權利要求1所述的曝光裝置，其特征在于，

上述光束分離器被設置在位于從該橢圓反射鏡放射的光的光路中 的第2焦點與該準直透鏡之間。

5.如權利要求4所述的曝光裝置，其特征在于，

上述光束分離器是平面形狀。

6.如權利要求4所述的曝光裝置，其特征在于，

上述光束分離器是曲面形狀。