[實(shí)用新型]一種多線切割機(jī)二軸動(dòng)力頭

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821330107.2
• 申請(qǐng)日: 2018-08-17
• 公開（公告）號(hào): CN209320027U
• 公開（公告）日: 2019-08-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王衛(wèi)鋒;王鈺
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州市匯峰機(jī)械設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): B28D5/04
• 分類號(hào): B28D5/04;B28D7/02
• 代理公司: 南京常青藤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32286
• 代理人: 毛洪梅

本實(shí)用新型公開了一種多線切割機(jī)二軸動(dòng)力頭，涉及多線切割機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，包括槽輪架，所述槽輪架上設(shè)有一槽輪軸主軸和一槽輪軸從動(dòng)軸，所述槽輪軸主軸連接有驅(qū)動(dòng)其轉(zhuǎn)動(dòng)的電機(jī)，所述槽輪軸主軸和所述槽輪軸從動(dòng)軸上套設(shè)有鋼絲，所述槽輪架的下方設(shè)置有一工作臺(tái)，所述工作臺(tái)的下方設(shè)置有升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)連接有放置板，所述放置板設(shè)置在所述槽輪軸主軸和所述槽輪軸從動(dòng)軸之間。本實(shí)用新型的多線切割機(jī)二軸動(dòng)力頭可以在轉(zhuǎn)動(dòng)的同時(shí)對(duì)材料進(jìn)行切割，在切割時(shí)，可以根據(jù)材料的厚度進(jìn)行升降調(diào)整，并且還可以利用空氣源冷卻后，在切割時(shí)進(jìn)行降溫。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及多線切割機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種多線切割機(jī)二軸動(dòng)力頭。

背景技術(shù)

多線切割是一種通過金屬絲的高速往復(fù)運(yùn)動(dòng)，把磨料帶入半導(dǎo)體加工區(qū)域進(jìn)行研磨，將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時(shí)切割為數(shù)百片薄片的一種新型切割加工方法。數(shù)控多線切割機(jī)已逐漸取代了傳統(tǒng)的內(nèi)圓切割，成為硅片切割加工的主要方式，但是在切割時(shí)往往無法根據(jù)具體的材料作調(diào)整，而且切割時(shí)產(chǎn)生大量熱量，一般的多線切割機(jī)無法很好的散熱。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種多線切割機(jī)二軸動(dòng)力頭。

本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：

一種多線切割機(jī)二軸動(dòng)力頭，包括槽輪架，所述槽輪架上設(shè)有一槽輪軸主軸和一槽輪軸從動(dòng)軸，所述槽輪軸主軸連接有驅(qū)動(dòng)其轉(zhuǎn)動(dòng)的電機(jī)，所述槽輪軸主軸和所述槽輪軸從動(dòng)軸上套設(shè)有鋼絲，所述槽輪架的下方設(shè)置有一工作臺(tái)，所述工作臺(tái)的下方設(shè)置有升降機(jī)構(gòu)，所述升降機(jī)構(gòu)連接有放置板，所述放置板設(shè)置在所述槽輪軸主軸和所述槽輪軸從動(dòng)軸之間。

優(yōu)選的，所述槽輪架上設(shè)置有噴吹冷卻管，所述噴吹冷卻管設(shè)置在所述槽輪軸主軸和所述槽輪軸從動(dòng)軸的上方。

優(yōu)選的，所述噴吹冷卻管連接有冷卻裝置，所述冷卻裝置包括空氣泵，所述空氣泵連接有空氣冷凝器，所述空氣冷凝器連接有氣泵，所述氣泵連接所述噴吹冷卻管，所述噴吹冷卻管上開設(shè)有若干噴吹孔。

優(yōu)選的，所述工作臺(tái)上設(shè)置有對(duì)稱的傾斜面，所述工作臺(tái)內(nèi)為中空結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述升降機(jī)構(gòu)包括氣缸，所述氣缸的活塞穿過所述工作臺(tái)，所述工作臺(tái)包括底面，所述氣缸的活塞與所述底面之間設(shè)置有密封墊圈。

本實(shí)用新型具有以下有益效果:本實(shí)用新型的多線切割機(jī)二軸動(dòng)力頭可以在轉(zhuǎn)動(dòng)的同時(shí)對(duì)材料進(jìn)行切割，在切割時(shí)，可以根據(jù)材料的厚度進(jìn)行升降調(diào)整，并且還可以利用空氣源冷卻后，在切割時(shí)進(jìn)行降溫。

附圖說明

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作優(yōu)選的說明：

圖1為本實(shí)用新型整體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型冷卻裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型密封墊圈結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中標(biāo)記為:1、槽輪架；2、槽輪軸主軸；3、槽輪軸從動(dòng)軸；4、電機(jī)；5、工作臺(tái)；6、放置板；7、噴吹冷卻管；8、空氣泵；9、空氣冷凝器；10、氣泵；11、傾斜面；12、氣缸；13、底面；14、密封墊圈。

具體實(shí)施方式

如圖1-3所示，為本實(shí)用新型的一種多線切割機(jī)二軸動(dòng)力頭，包括槽輪架1，槽輪架1上設(shè)有一槽輪軸主軸2和一槽輪軸從動(dòng)軸3，槽輪軸主軸2連接有驅(qū)動(dòng)其轉(zhuǎn)動(dòng)的電機(jī)4，槽輪軸主軸2和槽輪軸從動(dòng)軸3上套設(shè)有鋼絲，槽輪架1的下方設(shè)置有一工作臺(tái)5，工作臺(tái)5的下方設(shè)置有升降機(jī)構(gòu)，升降機(jī)構(gòu)連接有放置板6，放置板6設(shè)置在槽輪軸主軸2和槽輪軸從動(dòng)軸3之間。