[實用新型]一種用于化學氣相沉積金剛石膜的諧振腔

有效

• 申請號: 201821286148.6
• 申請日: 2018-08-09
• 公開（公告）號: CN208545490U
• 公開（公告）日: 2019-02-26
• 發明（設計）人: 黃飛
• 申請（專利權）人: 四川納涂科技有限公司
• 主分類號: C23C16/27
• 分類號: C23C16/27;C23C16/511
• 代理公司: 成都眾恒智合專利代理事務所(普通合伙) 51239
• 代理人: 王育信

1.一種用于化學氣相沉積金剛石膜的諧振腔，包括諧振腔本體、石英窗(10)、沉積臺(3)、模式轉換器(13)，其特征在于，所述諧振腔本體上部為圓柱體形，下部為倒角圓柱體形，所述倒角圓柱體相鄰面的夾角為135°，所述諧振腔本體上部側面豎直固定有電動定位滑臺(6)，電動定位滑臺(6)的滑塊(15)上固定有環形螺線圈(7)，所述環形螺線圈(7)與諧振腔本體同軸，所述沉積臺(3)位于諧振腔本體內部且與其同軸，所述諧振腔本體底部設有與其同心的圓形開口，所述圓形開口固定連接有微波輸入結構，所述石英窗(10)為圓環形，位于沉積臺(3)與諧振腔本體底面之間，且與沉積臺(3)及諧振腔本體底面密封連接。

2.根據權利要求1所述的一種用于化學氣相沉積金剛石膜的諧振腔，其特征在于，所述諧振腔本體由雙層不銹鋼制成，其內部空間形成水冷通道。

3.根據權利要求2所述的一種用于化學氣相沉積金剛石膜的諧振腔，其特征在于，所述諧振腔本體頂部設有進氣口(5)，底部設有抽氣口(11)，所述進氣口(5)及抽氣口(11)與諧振腔本體內部的空腔連通。

4.根據權利要求3所述的一種用于化學氣相沉積金剛石膜的諧振腔，其特征在于，所述諧振腔本體頂部設有出水口(8)，底部設有注水口(2)，所述注水口(2)及出水口(8)與所述水冷通道連通。

5.根據權利要求4所述的一種用于化學氣相沉積金剛石膜的諧振腔，其特征在于，所述微波輸入結構包括波導管(1)及模式轉換器(13)，所述模式轉換器(13)與諧振腔本體同軸。

6.根據權利要求5所述的一種用于化學氣相沉積金剛石膜的諧振腔，其特征在于，所述沉積臺(3)為中空結構，其下部密封連接有導管(12)，導管(12)下端與諧振腔本體底部密封連接，所述導管(12)與沉積臺(3)內部的空腔以及諧振腔本體的水冷通道連通。