[實(shí)用新型]一種藍(lán)寶石拋光液過濾裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821274184.0
• 申請日: 2018-08-08
• 公開（公告）號: CN208711230U
• 公開（公告）日: 2019-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 涂洛;林方
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫易潔工業(yè)介質(zhì)有限公司
• 主分類號: B01D36/00
• 分類號: B01D36/00;B01D29/11;B01D29/27;B01D35/18
• 代理公司: 上海精晟知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31253
• 代理人: 馮子玲

本實(shí)用新型提供了一種藍(lán)寶石拋光液過濾裝置包括管殼式容器、一級過濾器、泵、二級過濾器以及三級過濾器。其中，管殼式容器包括外腔和內(nèi)腔，外腔用于流通冷卻介質(zhì)，內(nèi)腔為可封閉結(jié)構(gòu)，內(nèi)腔內(nèi)設(shè)有一級過濾器，內(nèi)腔的底部出口設(shè)有第一放料管并連接至泵的入口，泵的出口連接至二級過濾器的入口，二級過濾器的出口連接至三級過濾器的入口，三級過濾器的出口設(shè)有第二放料管并連接至內(nèi)腔的頂部入口。本實(shí)用新型的藍(lán)寶石拋光液過濾裝置為全封閉結(jié)構(gòu)，可有效避免外界雜質(zhì)的引入，并采用逐級過濾的方式，使得雜質(zhì)去除更加徹底，過濾更加充分，且縮短了過濾時間，延長了濾芯的使用壽命。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于化工領(lǐng)域，特別涉及一種藍(lán)寶石拋光液過濾裝置。

背景技術(shù)

藍(lán)寶石是一種單晶形式的ɑ-Al₂O₃(剛玉)，具有許多特殊的性質(zhì)，如硬度高、熱穩(wěn)定性好、化學(xué)惰性強(qiáng)以及良好的透明性，廣泛應(yīng)用于光學(xué)、電子以及溫度傳感器等領(lǐng)域。對于這些光電領(lǐng)域的應(yīng)用，藍(lán)寶石表面形貌是影響其性能的一個重要指標(biāo)，在藍(lán)寶石加工制造過程中，80％以上的成本都花費(fèi)在表面精密加工上。可見，藍(lán)寶石的平坦化加工是至關(guān)重要的。然而，藍(lán)寶石固有的特性使其在加工方面具有很大挑戰(zhàn)。現(xiàn)有技術(shù)中，化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)依靠其較低的成本、較快的拋光去除速率以及能夠?qū)崿F(xiàn)較高的表面質(zhì)量，已經(jīng)成為公認(rèn)的平坦化技術(shù)。

在藍(lán)寶石的化學(xué)機(jī)械拋光過程中，拋光液是極其重要的耗材之一，拋光液的質(zhì)量好壞將直接影響藍(lán)寶石的拋光去除速率和表面質(zhì)量。拋光液中大顆粒雜質(zhì)會對藍(lán)寶石表面產(chǎn)生劃傷，大大降低藍(lán)寶石表面質(zhì)量，因此去除掉拋光液中大顆粒雜質(zhì)顯的尤為必要。現(xiàn)有的藍(lán)寶石拋光液過濾技術(shù)是在敞開的環(huán)境下，通過一級過濾將大顆粒雜質(zhì)去掉。然而，這種方法在過濾過程中，空氣中的雜質(zhì)會進(jìn)入到拋光液中，而且一級過濾也并不能完全地去除掉大顆粒雜質(zhì)，還容易造成過濾器的堵塞。

實(shí)用新型內(nèi)容

有鑒于現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，本實(shí)用新型的目的在于提供一種藍(lán)寶石拋光液過濾裝置，其可以有效避免空氣中的雜質(zhì)進(jìn)入到拋光液中，雜質(zhì)去除更加徹底，過濾更加充分，且縮短了過濾時間，并有利于延長濾芯的使用壽命。

本實(shí)用新型的藍(lán)寶石拋光液過濾裝置包括管殼式容器、一級過濾器、泵、二級過濾器以及三級過濾器。其中，管殼式容器包括外腔和內(nèi)腔，外腔用于流通冷卻介質(zhì)，內(nèi)腔為可封閉結(jié)構(gòu)，內(nèi)腔內(nèi)設(shè)有一級過濾器，內(nèi)腔的底部出口設(shè)有第一放料管并連接至泵的入口，泵的出口連接至二級過濾器的入口，二級過濾器的出口連接至三級過濾器的入口，三級過濾器的出口設(shè)有第二放料管并連接至內(nèi)腔的頂部入口。

進(jìn)一步地，外腔內(nèi)流通的冷卻介質(zhì)為冷卻水，冷卻介質(zhì)從外腔下部的冷卻介質(zhì)入口流入，從外腔上部的冷卻介質(zhì)出口流出，以帶走內(nèi)腔的熱量。

進(jìn)一步地，一級過濾器為濾袋，其濾孔規(guī)格為5μm；二級過濾器為濾芯，其濾孔規(guī)格為3μm；三級過濾器為濾芯，其濾孔規(guī)格為1μm。這種逐級過濾的方式過濾更加充分，雜質(zhì)去除更加徹底，且有利于延長濾芯的使用壽命，縮短過濾時間。

進(jìn)一步地，管殼式容器具有頂蓋，頂蓋可將內(nèi)腔與外界環(huán)境隔絕，以避免空氣中的雜質(zhì)進(jìn)入到拋光液中。頂蓋上設(shè)有兩個頂部入口和排氣管，其中一個頂部入口連接至三級過濾器的出口，可將三級過濾器排出的拋光液再循環(huán)至一級過濾器中；另一個頂部入口連接至泵出口，可將一級過濾器排出的拋光液再循環(huán)至一級過濾器中。排氣管上設(shè)有排氣閥，打開排氣閥可將內(nèi)腔與外界環(huán)境聯(lián)通，關(guān)閉排氣閥可將內(nèi)腔與外界環(huán)境隔絕。

進(jìn)一步地，內(nèi)腔的底部設(shè)有取樣管，取樣管上設(shè)有取樣閥，以收集一級過濾器排出的拋光液進(jìn)行取樣分析。

進(jìn)一步地，第一放料管可將一級過濾器排出的拋光液(即一級過濾后的拋光液)不經(jīng)二級和三級過濾直接引入后續(xù)工段；第二放料管可將三級過濾器排出的拋光液(即三級過濾后的拋光液)引入后續(xù)工段。這樣的設(shè)置增加了過濾裝置的靈活性，當(dāng)對拋光液質(zhì)量要求不高時，可直接使用一級過濾后的拋光液；當(dāng)對拋光液質(zhì)量要求很高時，則可以使用三級過濾后的拋光液。