[實用新型]一種真空電機

有效

• 申請號: 201821242193.1
• 申請日: 2018-08-02
• 公開（公告）號: CN208518895U
• 公開（公告）日: 2019-02-19
• 發明（設計）人: 康爍
• 申請（專利權）人: 撫順煤礦電機制造有限責任公司
• 主分類號: F04C25/02
• 分類號: F04C25/02;F04C18/12;F04C27/00;F04C29/00;F04C29/02;F04C29/04
• 代理公司: 沈陽優普達知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 21234
• 代理人: 俞魯江

本實用新型公開一種真空電機，包括電機腔、軸承腔、羅茨腔體、齒輪腔、電機、主動轉子軸、從動轉子軸、從動齒輪、主動齒輪、主、從動羅茨轉子，其特征在于：所述軸承腔、齒輪腔設置在羅茨腔體的兩側，電機腔與軸承腔連接，所述軸承腔與羅茨腔體間及羅茨腔體與齒輪腔間均設置軸封裝置；本實用新型體積小，抽速大，節約能源和空間；變頻調速，使用壽命長；采用特氟龍類雙唇軸封，延長了泵的維修周期；采用油氣分離裝置，解決向油蒸汽向真空室的泄漏問題；采用電機轉子和泵軸一體，電機定子在油室外的結構，解決了電機動密封和電機震動問題；齒輪的裝配采用熱脹裝配結構，減少了運動部的不平衡度和振動。

技術領域

本實用新型涉及一種真空電機技術領域，具體的說是一種真空電機。

背景技術

羅茨真空電機由羅茨鼓風機演變而來，包括高真空多級羅茨泵、中真空羅茨增壓泵和直排大氣的干式羅茨泵，廣泛用于化工、造紙、冶金、薄膜制備、食品等行業，也是IC裝備行業中常用的一種真空電機。國內羅茨真空電機的研究和制造較早，但適合于IC裝備行業嚴格要求的羅茨干泵并不多見，致使該設備長期依賴進口。

氣冷式羅茨干泵滿足了IC裝備行業的工作溫度高、長期運轉穩定、噪聲低、維護簡單、清潔無油等眾多要求，是很有發展前景的一種干式低真空電機。目前，除加工及裝配要求精度高、加工難度大、一次性投入大等制約因素外，設計理論亟待提高，尤其包括羅茨型線的改善、加工成本的降低、間隙的確定、泄漏量的計算、泵內的熱力學分析等。

實用新型內容

為了克服現有羅茨泵技術中極限真空低、消耗功率大、體積大、不能用于IC裝備的不足，本實用新型提供一種羅茨真空電機，適用于IC裝備的新型的羅茨干泵。為了實現上述目的，本實用新型結構設計是這樣實現的：

一種真空電機，包括電機腔、軸承腔、羅茨腔體、齒輪腔、電機、主動轉子軸、從動轉子軸、從動齒輪、主動齒輪、主、從動羅茨轉子，所述軸承腔、齒輪腔設置在羅茨腔體的兩側，電機腔與軸承腔連接，所述軸承腔與羅茨腔體間及羅茨腔體與齒輪腔間均設置軸封裝置；所述軸封裝置設置在主動轉子軸和從動轉子軸上；所述電機為轉子軸屏蔽變頻電機；所述軸承腔、齒輪腔均設置潤滑裝置；所述兩端軸承腔內設置油氣分離裝置；所述主動轉子軸、從動轉子軸由固定裝置安裝在軸承腔和齒輪腔間，主動轉子軸電機側為固定端；所述軸封裝置包括軸封環、雙唇軸封，所述軸封環、雙唇軸封依次套裝在主動轉子軸和從動轉子軸上；所述潤滑裝置為設置在軸承腔的主動轉子軸上的主動甩油盤、從動轉子軸上的電機側從動甩油盤及設置在齒輪腔內從動轉子軸上的齒輪側從動甩油盤；所述固定裝置包括軸端固定螺母、電機側軸承壓蓋、軸承、軸承支撐環；所述主從動羅茨轉子形線相同由兩段圓弧組成；所述電機腔、齒輪腔與羅茨腔體有孔連通；泵體外部和軸承腔外部布置了水冷板冷卻，電機內部設置水冷管。

羅茨轉子與固定端間隙小于0.2mm，與羅茨轉子與羅茨腔體的間隙小于0.25mm，羅茨轉子之間間隙小于0.3mm。

轉子軸屏蔽變頻電機外殼、電機腔、齒輪腔均采用鋁合金制作；所述雙唇軸封材料為特氟龍類。

所述油氣過濾裝置由固定零件和玻纖維類油氣過濾材料組成。

本實用新型具有如下優點：