[實用新型]基于平面反光鏡和光電陣列的振動及傾角測量系統有效
| 申請號： | 201821208288.1 | 申請日： | 2018-07-28 |
| 公開（公告）號： | CN208818332U | 公開（公告）日： | 2019-05-03 |
| 發明（設計）人： | 段發階;馬凌;葉德超;傅驍;李楊宗 | 申請（專利權）人： | 天津大學 |
| 主分類號： | G01H9/00 | 分類號： | G01H9/00;G01C9/00 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限責任專利代理事務所 12201 | 代理人： | 劉子文 |
| 地址： | 300072*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光電二極管 垂直腔面發射激光器 平面反光鏡 光電陣列 電壓放大電路 傾角測量系統 同心圓 傳感器 低通 光電二極管輸出 本實用新型 跨阻放大器 模數轉換器 電壓放大 電壓信號 頻率分析 傾角計算 數據上傳 數字濾波 數字信號 微處理器 轉換 暗噪聲 光電流 硅基 內圈 電路 測量 | ||
【權利要求書】：
1.基于平面反光鏡和光電陣列的振動及傾角測量系統，其特征在于，包括平面反光鏡和傳感器，所述傳感器由垂直腔面發射激光器和九個光電二極管組成，所述垂直腔面發射激光器和九個光電二極管均設置在硅基底上，所述光電二極管均分分布于兩個以垂直腔面發射激光器為中心的同心圓上組成光電陣列，所述同心圓的內圈和外圈分別設有四個光電二極管，第九個光電二極管通過遮光處理用于測量無光條件下光電二極管和電路的暗噪聲，每個光電二極管分別依次連接有跨阻放大器、一級低通濾波及電壓放大電路和二級低通濾波及電壓放大電路，二級低通濾波及電壓放大電路均連接有模數轉換器，模數轉換器連接微處理器。
2.根據權利要求1所述基于平面反光鏡和光電陣列的振動及傾角測量系統，其特征在于，所述垂直腔面發射激光器和光電二極管的尺寸為微米級別，組成的傳感器為2mm×2mm。
3.根據權利要求1所述基于平面反光鏡和光電陣列的振動及傾角測量系統，其特征在于，所述平面反光鏡與傳感器的靜態距離為2～5mm。
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