[實(shí)用新型]進(jìn)出片室和真空鍍膜設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821170181.2
• 申請(qǐng)日: 2018-07-23
• 公開（公告）號(hào): CN208883973U
• 公開（公告）日: 2019-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 樊文鳳;張陽(yáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京鉑陽(yáng)頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/22
• 分類號(hào): C23C14/22;C23C14/56
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;黃燦

1.一種進(jìn)出片室，用于對(duì)基片進(jìn)行真空鍍膜，所述進(jìn)出片室包括殼體，其特征在于，所述進(jìn)出片室還包括至少一個(gè)密封的不銹鋼盒體，所述不銹鋼盒體設(shè)置于所述殼體內(nèi)，所述不銹鋼盒體用于填充所述殼體內(nèi)的空間。

2.如權(quán)利要求1所述的進(jìn)出片室，其特征在于，所述不銹鋼盒體的外表面粗糙度等級(jí)為Ra≤0.2um。

3.如權(quán)利要求1所述的進(jìn)出片室，其特征在于，所述殼體包括頂板，所述不銹鋼盒體設(shè)置于所述殼體的頂板。

4.如權(quán)利要求3所述的進(jìn)出片室，其特征在于，所述不銹鋼盒體通過連接件可拆卸地吊裝于所述殼體的頂板。

5.如權(quán)利要求1所述的進(jìn)出片室，其特征在于，所述不銹鋼盒體內(nèi)部設(shè)置有隔板，所述隔板將所述不銹鋼盒體內(nèi)分隔成多個(gè)腔室。

6.如權(quán)利要求1所述的進(jìn)出片室，其特征在于，所述不銹鋼盒體內(nèi)設(shè)置有加強(qiáng)筋，所述加強(qiáng)筋的兩端分別與所述不銹鋼盒體一組相對(duì)的內(nèi)壁相連。

7.如權(quán)利要求1、5和6中任一項(xiàng)所述的進(jìn)出片室，其特征在于，所述不銹鋼盒體外側(cè)設(shè)置有加強(qiáng)箍，且所述加強(qiáng)箍環(huán)繞所述不銹鋼盒體設(shè)置。

8.如權(quán)利要求1所述的進(jìn)出片室，其特征在于，所述殼體包括底板，所述進(jìn)出片室還包括設(shè)置于所述殼體的底板上的滾輪組件，所述滾輪組件包括多組間隔設(shè)置的滾輪，相鄰兩個(gè)所述滾輪之間設(shè)置有至少一個(gè)所述不銹鋼盒體，且設(shè)置于相鄰兩個(gè)滾輪之間的不銹鋼盒體的高度小于各所述滾輪的高度。

9.如權(quán)利要求8所述的進(jìn)出片室，其特征在于，設(shè)置于滾輪之間的所述不銹鋼盒體，焊接于所述殼體的底板上或通過緊固件可拆卸地固定于所述殼體的底板上。

10.一種真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，包括權(quán)利要求1至9中任一項(xiàng)所述的進(jìn)出片室。