[實用新型]一種聚對苯二甲酸乙二酯襯底異質(zhì)結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821151831.9
• 申請日: 2018-07-20
• 公開（公告）號: CN208478342U
• 公開（公告）日: 2019-02-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李昱材;張東;趙琰;王健;宋世巍;王剛;丁艷波;王晗;劉莉瑩
• 申請（專利權(quán)）人: 沈陽工程學(xué)院
• 主分類號: H01L29/24
• 分類號: H01L29/24;H01L29/43
• 代理公司: 沈陽銘揚聯(lián)創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 21241
• 代理人: 呂敏

1.一種聚對苯二甲酸乙二酯襯底異質(zhì)結(jié)構(gòu)，其特征在于：從下到上依次包括普通聚對苯二甲酸乙二酯襯底層、第一導(dǎo)電層、SnO₂材料層、VO₂材料層、第二導(dǎo)電層、抗腐蝕保護(hù)層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述聚對苯二甲酸乙二酯襯底異質(zhì)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層均為AZO透明導(dǎo)電薄膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述聚對苯二甲酸乙二酯襯底異質(zhì)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第一導(dǎo)電薄膜和第二導(dǎo)電薄膜的厚度為100nm至800nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述聚對苯二甲酸乙二酯襯底異質(zhì)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述SnO₂材料層厚度為500nm至900nm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述聚對苯二甲酸乙二酯襯底異質(zhì)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述VO₂材料層厚度為400nm至900nm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聚對苯二甲酸乙二酯襯底異質(zhì)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述抗腐蝕保護(hù)層為TiN抗腐蝕保護(hù)層。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的聚對苯二甲酸乙二酯襯底異質(zhì)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述TiN抗腐蝕保護(hù)層厚度為500nm至900nm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聚對苯二甲酸乙二酯襯底異質(zhì)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述聚對苯二甲酸乙二酯襯底層的厚度為0.4～1.2mm。