[實(shí)用新型]一種陰極體組件、磁控濺射陰極及磁控濺射裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821097209.4
• 申請(qǐng)日: 2018-07-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN208649457U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梅艷慧
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 君泰創(chuàng)新（北京）科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/35
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/35
• 代理公司: 北京中博世達(dá)專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 11274
• 代理人: 申健

1.一種陰極體組件，包括：陰極板，其特征在于，所述陰極體組件還包括：

設(shè)置在所述陰極板一側(cè)板面上的磁路組件，所述磁路組件包括：中間磁體組件和環(huán)繞所述中間磁體組件的外圈磁體組件；

其中，所述中間磁體組件和所述外圈磁體組件背離所述陰極板一側(cè)的磁極極性相反；

所述中間磁體組件包括至少1組中間磁體組；

所述外圈磁體組件包括至少1組外圈磁體組；

且所述中間磁體組的組數(shù)與所述外圈磁體組的組數(shù)之和大于2。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陰極體組件，其特征在于，所述中間磁體組件包括至少2組所述中間磁體組；

其中排布于最內(nèi)側(cè)的1組所述中間磁體組為第一中間磁體組；除所述第一中間磁體組之外，其余所述中間磁體組均呈環(huán)狀，且由內(nèi)向外依次環(huán)繞所述第一中間磁體組。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的陰極體組件，其特征在于，

所述第一中間磁體組為一個(gè)整塊磁體；

或者，

所述第一中間磁體組包括多個(gè)間隔設(shè)置的磁體塊。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的陰極體組件，其特征在于，除所述第一中間磁體組之外，所述中間磁體組件中其余的每組所述中間磁體組均為一個(gè)整塊磁體；

或者，

除所述第一中間磁體組之外，所述中間磁體組件中其余的每組所述中間磁體組均包括間隔設(shè)置的多個(gè)磁體塊。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陰極體組件，其特征在于，

每組所述外圈磁體組均為一個(gè)整塊磁體；

或者，

每組所述外圈磁體組均包括間隔設(shè)置的多個(gè)磁體塊。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陰極體組件，其特征在于，

所述中間磁體組為磁鐵或電磁線圈，

和/或，

所述外圈磁體組為磁鐵或電磁線圈。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的陰極體組件，其特征在于，構(gòu)成所述磁鐵的材料為釹鐵硼。

8.一種磁控濺射陰極，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的陰極體組件。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的磁控濺射陰極，其特征在于，所述磁控濺射陰極還包括：

設(shè)置于所述磁路組件遠(yuǎn)離所述陰極板的一側(cè)的靶材；

設(shè)置在所述陰極體組件外部的外框組件；

設(shè)置于所述陰極板遠(yuǎn)離所述磁路組件的一側(cè)的、且與所述陰極板相接觸的電引入結(jié)構(gòu)；

支撐所述陰極體組件、所述外框組件的蓋板組件；其中，所述電引入結(jié)構(gòu)穿過(guò)所述蓋板組件與所述陰極板相接觸。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的磁控濺射陰極，其特征在于，

所述中間磁體組件包括至少2組所述中間磁體組，其中排布于最內(nèi)側(cè)的1組所述中間磁體組為第一中間磁體組；

所述第一中間磁體組對(duì)應(yīng)于所述靶材的中心。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的磁控濺射陰極，其特征在于，

所述外圈磁體組件中的最外側(cè)的一組所述外圈磁體組對(duì)應(yīng)于與所述靶材的邊緣。

12.一種磁控濺射裝置，其特征在于，包括如權(quán)利要求8-11任一項(xiàng)所述的磁控濺射陰極。