[實用新型]一種太陽能電池晶體硅清洗用輔助裝置

有效

• 申請號: 201821086558.6
• 申請日: 2018-07-06
• 公開（公告）號: CN208753271U
• 公開（公告）日: 2019-04-16
• 發明（設計）人: 劉宏;王春定;龔志國;姚學森;劉柏林
• 申請（專利權）人: 天長市百盛半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/673;H01L31/18
• 代理公司: 合肥市長遠專利代理事務所(普通合伙) 34119
• 代理人: 傅磊

1.一種太陽能電池晶體硅清洗用輔助裝置，其特征在于，包括：框架和空氣壓縮機構(1)，其中：

框架包括底板(2)和相對布置在底板(2)兩側并與底板(2)固定連接的第一側板(3)、第二側板(4)；

底板(2)為鏤空結構，底板(2)設有多個，各底板(2)在第一側板(3)和第二側板(4)之間沿其高度方向分層布置，且每一層底板(2)的上板面上均設有多個與其固定裝配的隔板(5)；各隔板(5)由第一側板(3)向第二側板(4)方向間距布置并在任意相鄰的兩個隔板(5)之間形成供工件放入的卡槽，各隔板(5)的內部均具有第一夾腔(a)和位于第一夾腔(a)靠近第二側板(4)一側的第二夾腔(b)，且任意一個隔板(5)上均設有與第一夾腔(a)連通的第一進氣口和與第二夾腔(b)連通的第二進氣口，任意一個隔板(5)靠近第一側板(3)的一側均設有至少一個與其第一夾腔(a)連通的第一通孔(c)，任意一個隔板(5)靠近第二側板(4)的一側均設有至少一個與其第二夾腔(b)連通的第二通孔(d)；

空氣壓縮機構(1)通過輸氣管路分別與各隔板(5)上的第一進氣口和第二進氣口連接以用于向各第一夾腔(a)、第二夾腔(b)內輸送高壓空氣。

2.根據權利要求1所述的太陽能電池晶體硅清洗用輔助裝置，其特征在于，第一側板(3)內部設有輸氣通道；輸氣管路包括主管(6)和支管(7)，所述主管(6)的一端與空氣壓縮機構(1)連接，其另一端與所述輸氣通道連接；所述支管(7)位于各隔板(5)的一側并由第一側板(3)向第二側板(4)方向直線延伸，且支管(7)與所述輸氣通道連接；所述各隔板(5)的第一進氣口、第二進氣口均分別與支管(7)連接。

3.根據權利要求1所述的太陽能電池晶體硅清洗用輔助裝置，其特征在于，第二側板(4)內部設有輸氣通道；輸氣管路包括主管(6)和支管(7)，所述主管(6)的一端與空氣壓縮機構(1)連接，其另一端與所述輸氣通道連接；所述支管(7)位于各隔板(5)的一側并由第一側板(3)向第二側板(4)方向直線延伸，且支管(7)與所述輸氣通道連接；所述各隔板(5)的第一進氣口、第二進氣口均分別與支管(7)連接。

4.根據權利要求2或3所述的太陽能電池晶體硅清洗用輔助裝置，其特征在于，任意一個第一進氣口、第二進氣口與支管(7)之間均設有可自動控制其開合度的控制閥。

5.根據權利要求1所述的太陽能電池晶體硅清洗用輔助裝置，其特征在于，卡槽的兩端均設有與底板(2)固定的擋板(8)，且擋板(8)為鏤空結構。

6.根據權利要求1所述的太陽能電池晶體硅清洗用輔助裝置，其特征在于，卡槽內部設有多個與底板(2)固定的擋板(8)，各擋板(8)均為鏤空結構，且各擋板(8)在卡槽內部由其一端向其另一端間距布置以將卡槽分隔成多個槽腔。

7.根據權利要求6所述的太陽能電池晶體硅清洗用輔助裝置，其特征在于，各隔板(5)靠近第一側板(3)的一側且位于任意一個槽腔處均設有第一通孔(c)，各隔板(5)靠近第二側板(4)的一側且位于任意一個槽腔處均設有第二通孔(d)。