[實用新型]一種新型環狀靶材結構

有效

• 申請號: 201821042234.2
• 申請日: 2018-07-03
• 公開（公告）號: CN208617967U
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發明（設計）人: 孫偉華
• 申請（專利權）人: 南京迪納科材料發展股份有限公司
• 主分類號: C23C14/32
• 分類號: C23C14/32;C23C14/35
• 代理公司: 北京盛凡智榮知識產權代理有限公司 11616
• 代理人: 高志軍

本實用新型公開了一種新型環狀靶材結構，其結構包括裝置本體、固定塊和靶材，所述裝置本體的底部設有夾板，所述夾板的內部中間位置設有插銷，所述插銷與夾板之間的連接方式為可拆卸連接，所述夾板的上部位置設有固定軸，所述固定軸的上部位置設有傳動輪，所述傳動輪與固定軸之間的連接方式為轉動連接，所述傳動輪位于裝置本體的中部位置，所述傳動輪的上部位置設有轉動桿，所述轉動桿與傳動輪之間的連接方式為固定連接，所述轉動桿的上部位置設有保護板，所述轉動桿與保護板之間通過固定塊連接。該一種新型環狀靶材結構，通過裝置本體上設有的儲液板及內部設有的冷卻桿，可以提高裝置的冷卻性能的同時提高了裝置的工作時間，經濟實用性較強。

技術領域

本實用新型涉及磁控濺射技術領域，具體為一種新型環狀靶材結構。

背景技術

隨著電弧放電真空鍍膜技術的應用越來越廣泛，人們開始對靶材的利用率及設備生產效率的追求也不斷提高，特別是對貴重材料，靶材的利用率直接影響生產成本，而設備的定期維修周期的長短對設備的生產效率的提高起了關鍵性的作用。

現有的靶材包括圓盤型靶材和圓柱型靶材，其中圓盤型靶材結構簡單，冷卻效果好，磁場線圈容易安置，設備工作性能穩定，但由于靶材厚度高，在進行長時間連續的生產后容易產生較高的熱量，容易造成安全事故的發生。

且現有的裝置不能夠進行內部的冷卻液的更換，導致冷卻液在使用一段時間后冷卻液不能進行更換導致裝置的使用壽命降低，不利于使用者的使用。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種新型環狀靶材結構，解決了背景技術中所提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種新型環狀靶材結構，其結構包括裝置本體、夾板、插銷、固定軸、傳動輪、轉動桿、冷卻桿、儲液板、內膜盤、保護板、固定塊和靶材，所述裝置本體的底部設有夾板，所述夾板的內部中間位置設有插銷，所述插銷與夾板之間的連接方式為可拆卸連接，所述夾板的上部位置設有固定軸，所述固定軸的上部位置設有傳動輪，所述傳動輪與固定軸之間的連接方式為轉動連接，所述傳動輪位于裝置本體的中部位置，所述傳動輪的上部位置設有轉動桿，所述轉動桿與傳動輪之間的連接方式為固定連接，所述轉動桿的上部位置設有保護板，所述轉動桿與保護板之間通過固定塊連接。

作為本實用新型的一種優選實施方式，所述保護板位于裝置本體的上部位置，所述保護板的上部中間位置設有靶材，所述靶材與保護板之間的連接方式為可拆卸連接。

作為本實用新型的一種優選實施方式，所述裝置本體的上部中間位置設有儲液板，所述儲液板位于靶材的內部位置，所述儲液板與靶材之間的連接方式為可拆卸連接。

作為本實用新型的一種優選實施方式，所述儲液板的內部中間位置設有降溫孔，所述降溫孔與儲液板之間的連接方式為嵌入式連接，所述儲液板的底部兩側位置設有冷卻桿，所述冷卻桿位于保護板的內部。

作為本實用新型的一種優選實施方式，所述保護板的內部兩側位置設有內膜盤，所述內膜盤位于冷卻桿的上部位置。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果如下：

該一種新型環狀靶材結構，通過裝置上設有的冷卻桿，可以在提高裝置的工作時間的同時提高裝置的冷卻效果，方便了裝置的使用。

該一種新型環狀靶材結構，通過裝置上設有的儲液板，可以方便使用者進行冷卻液的更換，提高了裝置的生產效率，方便了裝置的使用。

附圖說明

通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細描述，本實用新型的其它特征、目的和優點將會變得更明顯：

圖1為本實用新型一種新型環狀靶材結構的整體結構示意圖；

圖2為本實用新型一種新型環狀靶材結構的俯視結構示意圖；