[實用新型]分子束外延系統的進樣裝置

有效

• 申請號: 201821025396.5
• 申請日: 2018-06-29
• 公開（公告）號: CN208594347U
• 公開（公告）日: 2019-03-12
• 發明（設計）人: 陳意橋;陳超;趙曼曼
• 申請（專利權）人: 蘇州焜原光電有限公司
• 主分類號: C30B25/02
• 分類號: C30B25/02;C30B25/08
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種分子束外延系統的進樣裝置，其特征在于：包括與MBE進樣室連接的操作室和設在所述操作室上的過渡艙；所述MBE進樣室與所述操作室之間具有可開關的室門；所述操作室具有兩個面向大氣的操作口，所述操作口的內側設有將操作室與大氣隔開的手套，所述操作室上設有換氣機構；所述過渡艙具有一個面向所述操作室內的內門和面向大氣的外門，所述過渡艙上設有抽氣機構。

2.根據權利要求1所述的進樣裝置，其特征在于：所述換氣機構包括首末端都朝向操作室的循環管、設于循環管上的循環風機和凈化器以及位于循環管出口的顆粒過濾器。

3.根據權利要求2所述的進樣裝置，其特征在于：所述操作室內設有水含量探頭和氧含量探頭，所述循環風機的啟停通過水含量探頭和氧含量探頭的檢測結果決定。

4.根據權利要求2所述的進樣裝置，其特征在于：所述抽氣機構包括真空泵以及連接真空泵及過渡艙的抽氣管。

5.根據權利要求4所述的進樣裝置，其特征在于：所述抽氣管分出一個連通所述操作室的支路，在所述抽氣管的分支位置設有一個雙向開關。

6.根據權利要求5所述的進樣裝置，其特征在于：所述循環管上設有一個面向大氣的進氣支管，所述進氣支管上設有進氣閥，所述循環管與抽氣管之間設有支管，所述支管上設有泄氣閥。

7.根據權利要求6所述的進樣裝置，其特征在于：所述操作室內設有氣壓計，所述泄氣閥和所述進氣閥的開關受氣壓計的檢測結果影響。