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[實用新型]一種單晶爐充氣結構有效

專利信息
申請號: 201820980632.2 申請日: 2018-06-25
公開(公告)號: CN208455103U 公開(公告)日: 2019-02-01
發明(設計)人: 時剛;劉統青;王倩 申請(專利權)人: 西安創聯新能源設備有限公司
主分類號: C30B15/00 分類號: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 710065 陜*** 國省代碼: 陜西;61
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 環形裝置 氣體流通槽 傳動底板 本實用新型 氬氣 充氣結構 單晶爐 螺釘孔 副室 通孔 相通 爐膛 安裝方便 晶體生長 副爐室 均勻度 底面
【權利要求書】:

1.一種單晶爐充氣結構,其特征在于,包括設置在上傳動底板底部的環形裝置,該環形裝置配有一排螺釘孔,該排螺釘孔將環形裝置固定在副爐室的上傳動底板的底面,所述環形裝置還設置有氣體流通槽,該氣體流通槽與充入上傳動底板的氬氣相通,所述氣體流通槽內有一排通孔,所述通孔與副室相通。

2.根據權利要求1所述的單晶爐充氣結構,其特征在于,所述環形裝置設置有豁口,該豁口用以避開上測溫口,所述氣體流通槽在豁口處用兩個四氟環堵住。

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