[實用新型]一種單晶爐充氣結構有效
| 申請號: | 201820980632.2 | 申請日: | 2018-06-25 |
| 公開(公告)號: | CN208455103U | 公開(公告)日: | 2019-02-01 |
| 發明(設計)人: | 時剛;劉統青;王倩 | 申請(專利權)人: | 西安創聯新能源設備有限公司 |
| 主分類號: | C30B15/00 | 分類號: | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 710065 陜*** | 國省代碼: | 陜西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 環形裝置 氣體流通槽 傳動底板 本實用新型 氬氣 充氣結構 單晶爐 螺釘孔 副室 通孔 相通 爐膛 安裝方便 晶體生長 副爐室 均勻度 底面 | ||
【權利要求書】:
1.一種單晶爐充氣結構,其特征在于,包括設置在上傳動底板底部的環形裝置,該環形裝置配有一排螺釘孔,該排螺釘孔將環形裝置固定在副爐室的上傳動底板的底面,所述環形裝置還設置有氣體流通槽,該氣體流通槽與充入上傳動底板的氬氣相通,所述氣體流通槽內有一排通孔,所述通孔與副室相通。
2.根據權利要求1所述的單晶爐充氣結構,其特征在于,所述環形裝置設置有豁口,該豁口用以避開上測溫口,所述氣體流通槽在豁口處用兩個四氟環堵住。
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