[實用新型]支撐模塊以及晶圓移動設備

有效

• 申請號: 201820949948.5
• 申請日: 2018-06-20
• 公開（公告）號: CN208298807U
• 公開（公告）日: 2018-12-28
• 發明（設計）人: 廖惇材;林宏毅;彭柏翰
• 申請（專利權）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/687
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245
• 代理人: 關暢;王燕秋

1.一種支撐模塊，適于連接至一晶圓平臺，以將一晶圓環固定在所述晶圓平臺上，其特征在于所述支撐模塊包括：

一支撐環，適于環繞所述晶圓平臺，并具有一支撐面，以支撐所述晶圓環；

多個固定元件，連接至所述支撐環，以在垂直于所述支撐面的一方向上限制所述晶圓環在所述支撐面上的位置。

2.如權利要求1所述的支撐模塊，其特征在于：還包括至少一對位元件，連接至所述支撐環，以在平行于所述支撐面的一平面上限制所述晶圓環在所述支撐面上的位置。

3.如權利要求2所述的支撐模塊，其特征在于：所述至少一對位元件凸出于所述支撐面，且所述至少一對位元件的內側與所述晶圓環的外側的一部分形狀互補相互配合。

4.如權利要求2所述的支撐模塊，其特征在于：所述至少一對位元件與所述支撐環一體成形。

5.如權利要求1所述的支撐模塊，其特征在于：各所述固定元件具有一真空吸嘴，各所述真空吸嘴設置于所述支撐環中并連接至外部的一真空源，且各所述真空吸嘴依照所述真空源的驅動提供真空吸力，以將所述晶圓環吸附在所述支撐面上。

6.如權利要求5所述的支撐模塊，其特征在于：各所述固定元件還具有一端口，各所述端口連接對應的所述真空吸嘴，且各所述真空吸嘴經由對應的所述端口連接至外部的所述真空源。

7.如權利要求1所述的支撐模塊，其特征在于：各所述固定元件具有一汽缸及一按壓件，且各所述汽缸連接至所述支撐環并連接對應的所述按壓件，各所述汽缸連接至外部的一真空源，且各所述汽缸依照所述真空源的驅動移動對應的所述按壓件，以將所述晶圓環按壓在所述支撐面上。

8.如權利要求7所述的支撐模塊，其特征在于：各所述固定元件還具有一對端口，各所述對端口連接對應的所述汽缸，且各所述汽缸經由對應的所述對端口連接至外部的所述真空源。

9.一種晶圓移動設備，適于承載一晶圓環，其特征在于包括：

一移動模塊；

一晶圓平臺，設置在所述移動模塊上，其中所述晶圓平臺能夠被所述移動模塊帶動而平移、升降或旋轉；

一支撐模塊，連接至所述晶圓平臺以將所述晶圓環固定至所述晶圓平臺上，所述支撐模塊包括：

一支撐環，環繞所述晶圓平臺，并具有一支撐面，以支撐所述晶圓環；

多個固定元件，連接至所述支撐環，以限制所述晶圓環在所述支撐面上的位置。

10.如權利要求9所述的晶圓移動設備，其特征在于：所述支撐模塊還包括至少一對位元件，其連接至所述支撐環，所述至少一對位元件在平行于所述支撐面的一平面上限制所述晶圓環在所述支撐面上的位置，且各所述固定元件在垂直于所述支撐面的一方向上限制所述晶圓環在所述支撐面上的位置。

11.如權利要求10所述的晶圓移動設備，其特征在于：所述至少一對位元件凸出于所述支撐面，且所述至少一對位元件的內側與所述晶圓環的外側的一部分形狀互補相互配合。

12.如權利要求10所述的晶圓移動設備，其特征在于：所述至少一對位元件與所述支撐環一體成形。

13.如權利要求9所述的晶圓移動設備，其特征在于：各所述固定元件具有一真空吸嘴，各所述真空吸嘴設置于所述支撐環中并連接至外部的一真空源，且各所述真空吸嘴依照所述真空源的驅動提供真空吸力，以將所述晶圓環吸附在所述支撐面上。

14.如權利要求13所述的晶圓移動設備，其特征在于：各所述固定元件還具有一端口，各所述端口連接對應的所述真空吸嘴，且各所述真空吸嘴經由對應的所述端口連接至外部的所述真空源。