[實用新型]一種石墨盤有效
| 申請號: | 201820936344.7 | 申請日: | 2018-06-15 |
| 公開(公告)號: | CN208674089U | 公開(公告)日: | 2019-03-29 |
| 發明(設計)人: | 王樂奎 | 申請(專利權)人: | 大悟縣宇弘智能科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/68 | 分類號: | H01L21/68;H01L21/60 |
| 代理公司: | 武漢智嘉聯合知識產權代理事務所(普通合伙) 42231 | 代理人: | 黃君軍 |
| 地址: | 432800 湖北省*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 位置孔 石墨盤 矩形位置 孔陣列 本實用新型 二極管 相鄰位置 盤體 長方體形 生產效率 高品質 高效率 焊接 保證 生產 | ||
1.一種石墨盤,其特征在于,所述石墨盤含有長方體形的盤體,所述盤體上分布有以若干個位置孔組成的矩形位置孔陣列,所述矩形位置孔陣列中含有3800個位置孔;所述位置孔的孔徑為2~3mm,所述相鄰位置孔在所述位置孔陣列的寬度方向上的間距為2.5~3mm,所述相鄰位置孔在所述位置孔陣列的長度方向上的間距為2.5~3.5mm;所述石墨盤還包括有長方體形的底座,所述盤體設置在所述底座頂端面上,所述盤體的底面與所述底座的頂端面間隔4mm,所述盤體和所述底座之間設有至少兩個彈性墊片。
2.根據權利要求1所述的石墨盤,其特征在于,所述盤體寬度為105~115mm,所述盤體長度為325~335mm。
3.根據權利要求2所述的石墨盤,其特征在于,所述位置孔陣列的寬度為105~115mm,長度為295~305mm。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





