[實用新型]一種低濃度標準氣體的配氣裝置有效
| 申請號： | 201820926810.3 | 申請日： | 2018-06-15 |
| 公開（公告）號： | CN208799973U | 公開（公告）日： | 2019-04-30 |
| 發明（設計）人： | 沈飛宙;謝雷;楊雁南;翟志斌 | 申請（專利權）人： | 盛密科技（上海）有限公司 |
| 主分類號： | B01F3/02 | 分類號： | B01F3/02 |
| 代理公司： | 北京東正專利代理事務所(普通合伙) 11312 | 代理人： | 張亦華 |
| 地址： | 201807 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 主氣室 配氣裝置 配氣組件 氣源室 低濃度標準氣體 氣體發生組件 本實用新型 標準氣體 循環氣路 稀釋 閥門 氣泵 連通 物理化學特性 氣體傳感器 恒溫控制 進氣組件 氣路連通 體積可變 標準氣 氣路 | ||
【權利要求書】：
1.一種低濃度標準氣體的配氣裝置，其特征在于，包括氣體發生組件(1)和稀釋配氣組件，氣體發生組件包括通過氣路連通的主氣室(11)、第一氣泵(12)、氣源室(13)以及在氣路中設置的氣體傳感器(14)，氣源室(13)通過第二閥門(16)與主氣室(11)連通，形成循環氣路；
稀釋配氣組件包括進氣組件(2)和配氣組件(3)，進氣組件包括通過氣路依次連通的過濾器(21)、流量傳感器(22)和第二氣泵(23)，第二氣泵(23)通過第三閥門(24)與主氣室(11)連通；
配氣組件包括通過氣路依次連通的定量氣室(31)、配氣室(32)和第三氣泵(33)，定量氣室(31)通過第四閥門(34)與主氣室(11)連通。
2.根據權利要求1所述的低濃度標準氣體的配氣裝置，其特征在于，定量氣室(31)與配氣室(32)之間通過第六閥門(36)連通，第六閥門為三通閥門，其另一端口連通有第四氣泵(38)。
3.根據權利要求1所述的低濃度標準氣體的配氣裝置，其特征在于，主氣室(11)為氣袋、可改變氣室體積的魚泡或風箱結構的容器。
4.根據權利要求1所述的低濃度標準氣體的配氣裝置，其特征在于，氣源室(13)設置在恒溫箱內，恒溫箱的設定溫度低于主氣室(11)溫度。
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