[實用新型]一種TMAH廢液處理系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201820918013.0
• 申請日: 2018-06-13
• 公開（公告）號: CN207904107U
• 公開（公告）日: 2018-09-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 禹大龍
• 申請（專利權(quán)）人: 高頻美特利環(huán)境科技（北京）有限公司
• 主分類號: C02F9/14
• 分類號: C02F9/14;C02F101/38
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 藏斌;趙青朵

本實用新型屬于水處理領(lǐng)域，尤其涉及一種TMAH廢液處理系統(tǒng)。本實用新型提供的系統(tǒng)包括：氣浮裝置；與所述氣浮裝置的出水口相連的鐵碳微電解裝置；與所述鐵碳微電解裝置的出水口相連的芬頓氧化裝置；與所述芬頓氧化裝置的出水口相連的pH調(diào)節(jié)裝置；與所述pH調(diào)節(jié)裝置的出水口相連的A²/O?MBR裝置。本實用新型提供的技術(shù)方案將物化法和生物法去除污染物有機組合，從而實現(xiàn)高濃度(含氨)TMAH廢液處理后極大程度降低水質(zhì)毒性與各種污染物的目的，具有處理效率高、運行穩(wěn)定、設(shè)備占地少、投資省、運行費用低、可與其他有機廢水生物處理系統(tǒng)有機組合等特點。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于水處理領(lǐng)域，尤其涉及一種TMAH廢液處理系統(tǒng)。

背景技術(shù)

微電子技術(shù)是當(dāng)代發(fā)展最快的技術(shù)之一，是電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展的基礎(chǔ)。微電子技術(shù)的發(fā)展，大大推動了航天航空技術(shù)、遙測傳感技術(shù)、通訊技術(shù)、計算機技術(shù)、網(wǎng)絡(luò)技術(shù)及家用電器產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展。在我國，已經(jīng)把微電子產(chǎn)業(yè)列為國民經(jīng)濟的支柱性產(chǎn)業(yè)。如今，微電子技術(shù)已成為衡量一個國家科學(xué)技術(shù)進步和綜合國力的重要標志。

隨著微電子工業(yè)的迅速發(fā)展壯大，由此而產(chǎn)生的工業(yè)廢水成為行業(yè)發(fā)展制約因素之一。而四甲基氫氧化銨(TMAH)廢液就是此類工業(yè)廢水標志性廢水，它主要產(chǎn)生在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)過程中。由于TMAH是一種強堿性、強腐蝕性、高氮濃度的廢液，所以必須經(jīng)過處理后才能排放。因此，如何建設(shè)一套能夠高效處理TMAH廢液的處理系統(tǒng)，是本領(lǐng)域技術(shù)人員急需解決的問題。

實用新型內(nèi)容

有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種TMAH廢液處理系統(tǒng)，本實用新型提供的系統(tǒng)能高效的處理TMAH廢液。

本實用新型提供了一種TMAH廢液處理系統(tǒng)，包括：

氣浮裝置；

與所述氣浮裝置的出水口相連的鐵碳微電解裝置；

與所述鐵碳微電解裝置的出水口相連的芬頓氧化裝置；

與所述芬頓氧化裝置的出水口相連的pH調(diào)節(jié)裝置；

與所述pH調(diào)節(jié)裝置的出水口相連的A²/O-MBR裝置。

優(yōu)選的，所述氣浮裝置包括氣浮進水pH調(diào)節(jié)池、混凝調(diào)整槽、絮凝調(diào)整槽、氣浮機和氣浮產(chǎn)水箱；所述氣浮進水pH調(diào)節(jié)池的出水口與所述混凝調(diào)整槽的進水口相連，所述混凝調(diào)整槽的出水口與所述氣浮機的進水口相連，所述氣浮機的清液出口與所述氣浮產(chǎn)水箱的進水口相連。

優(yōu)選的，所述A²/O-MBR裝置上設(shè)置有出水回流口，所述出水回流口與所述氣浮產(chǎn)水箱相連。

優(yōu)選的，所述鐵碳微電解裝置包括微電解進水pH調(diào)節(jié)池和電解池，所述微電解進水pH調(diào)節(jié)池的出水口與所述電解池的進水口相連；

所述電解池內(nèi)設(shè)置有鐵碳微電解填料。

優(yōu)選的，所述芬頓氧化裝置包括芬頓反應(yīng)池、絮凝池、配水區(qū)和沉淀池；所述芬頓反應(yīng)池的進水口與所述鐵碳微電解裝置的出水口相連，所述芬頓反應(yīng)池的出水口與所述絮凝池的進水口相連，所述絮凝池的出水口與所述配水區(qū)進水口相連，所述配水區(qū)的出水口與所述沉淀池的進水口相連。

優(yōu)選的，所述芬頓反應(yīng)池包括第一芬頓反應(yīng)池、第二芬頓反應(yīng)池和第三芬頓反應(yīng)池；所述第一芬頓反應(yīng)池的出水口與所述第二芬頓反應(yīng)池的進水口相連，所述第二芬頓反應(yīng)池的出水口與所述第三芬頓反應(yīng)池的進水口相連，所述第三芬頓反應(yīng)池的出水口與所述絮凝池的進水口相連；

所述第一芬頓反應(yīng)池上設(shè)置有pH調(diào)節(jié)試劑加料口、FeSO₄加料口和H₂O₂加料口；所述第二芬頓反應(yīng)池上設(shè)置有pH調(diào)節(jié)試劑加料口；所述第三芬頓反應(yīng)池上設(shè)置有pH調(diào)節(jié)試劑加料口和NaHSO₃加料口。