[實用新型]一種用于硅片的翻面機構

有效

• 申請號: 201820881145.0
• 申請日: 2018-06-05
• 公開（公告）號: CN208433395U
• 公開（公告）日: 2019-01-25
• 發明（設計）人: 李思泉;陳海國;肖俊琳;鐘雄雄;尹小玲;李偉強;鄭楷熠
• 申請（專利權）人: 深圳市旭控科技有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 深圳市智勝聯合知識產權代理有限公司 44368
• 代理人: 李永華;張廣興

本實用新型提出一種用于硅片的翻面機構，包括硅片翻面裝置和硅片橫移裝置，硅片翻面裝置包括第一安裝板、第一連接板、第二連接板、第一固定板、第二固定班、主動軸、聯軸器、第一驅動裝置和底板，硅片橫移裝置包括連接塊、滑塊、滑軌和第二驅動裝置；第一安裝板具有第一端部和第二端部，第一端部上設有多個支撐件，支撐件用于放置硅片；第二端部分別與第一連接板和第二連接板連接，主動軸依次貫穿第一固定板、第一連接板、第二連接板和第二固定板；聯軸器用于連接第一驅動裝置和主動軸；底板設有第一面和第二面，第一固定板、第二固定板分別與第一面連接；連接塊分別與第二驅動裝置，滑塊和第二面連接，滑塊與滑軌活動連接。

技術領域

本實用新型涉及硅片制造領域,尤其是一種用于硅片的翻面機構。

背景技術

太陽能是一種非常清潔的能源，隨著科技的發展，太陽能的應用也變得更為普遍。在運用太陽能時，需要使用到單晶或是多晶硅片，這些單晶或是多晶硅片都是由硅片加工而成，這些硅片都需要進行雙面加工，以往的翻面都是由人工完成，效率低下，同時，現有的硅片翻面裝置存在結構復雜，制作成本高，工作效率低等問題，因此，市面上急需一種結構簡單，工作效率高的硅片翻面機構。

實用新型內容

為了解決上述問題，本實用新型提出一種結構簡單且高效的用于硅片的翻面機構。

本實用新型通過以下技術方案實現的：

本實用新型提出一種用于硅片的翻面機構，包括硅片翻面裝置和硅片橫移裝置，所述硅片翻面裝置包括第一安裝板、第一連接板、第二連接板、第一固定板、第二固定班、主動軸、聯軸器、第一驅動裝置和底板，所述硅片橫移裝置包括連接塊、滑塊、滑軌和第二驅動裝置；

所述第一安裝板具有第一端部和第二端部，所述第一端部上設有多個支撐件，所述支撐件行列排布，所述支撐件用于放置硅片；所述第二端部分別與所述第一連接板和所述第二連接板連接，所述主動軸依次貫穿所述第一固定板、第一連接板、第二連接板和所述第二固定板；

所述聯軸器用于連接所述第一驅動裝置和所述主動軸；

所述底板設有第一面和第二面，所述第一固定板、第二固定板分別與所述第一面連接；

所述連接塊分別與所述第二驅動裝置，所述滑塊和所述第二面連接，所述滑塊與所述滑軌活動連接；

使用時，所述第一驅動裝置帶動所述主動軸轉動，所述主動軸轉動帶動所述第一連接板和所述第二連接板轉動，所述第一連接板和所述第二連接板轉動帶動所述第一安裝板轉動；所述第二驅動裝置帶動所述連接塊運動，所述連接塊帶動所述滑塊沿所述滑軌滑動，所述連接塊帶動所述底板滑動。

進一步的，所述第一驅動裝置包括減速機與第一伺服電機，所述減速機與所述第一伺服電機連接，所述減速機與所述第一伺服電機同軸心設置，所述硅片翻面裝置還包括第三固定板和聯軸器罩，所述第三固定板與所述減速機連接，所述聯軸器罩套設在所述第三固定板和所述第二固定板上。

進一步的，所述第一面上還設有多個防撞阻擋塊，所述第一固定板遠離所述第一連接板的一面還設有第一傳感器和第二傳感器，所述第一傳感器與所述第二傳感器垂直設置，所述主動軸遠離所述聯軸器的一端還套設有第一感應片，所述主動軸轉動時，所述第一感應片經過所述第一傳感器和所述第二傳感器。

進一步的，所述第二驅動裝置包括第二伺服電機和絲桿，所述第二伺服電機和所述絲桿連接，所述絲桿和所述連接塊連接，所述硅片橫移裝置還包括第二安裝板、絲桿固定座和絲桿固定板，所述第二安裝板與所述第二伺服電機連接，所述絲桿依次插入所述絲桿固定座和所述絲桿固定板，所述絲桿止于所述絲桿固定板。