[實用新型]一種半導體擴散爐用冷卻排液管有效

申請號：	201820847051.1	申請日：	2018-06-02
公開（公告）號：	CN208173566U	公開（公告）日：	2018-11-30
發明（設計）人：	張志強;喻勇全;魏關成;賀志軍;姚旭	申請（專利權）人：	上海廣奕電子科技股份有限公司
主分類號：	H01L21/67	分類號：	H01L21/67
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	201204 上海市***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	半導體擴散爐排液管冷卻密封圈冷卻水出水管冷卻水進水管本實用新型不銹鋼外管壓力傳感器廢液出口廢液入口設備主體石英內管加裝靈活加工
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【權利要求書】：

1.一種半導體擴散爐用冷卻排液管，其特征是：包括有不銹鋼外管1、石英內管2、階梯3、冷卻水進水管4、冷卻水出水管5、廢液出口6、密封圈7、廢液入口8，其中所述不銹鋼外管1在所述石英內管2的外部，包圍著所述石英內管2，并由上下左右四個所述密封圈7所密封，并且各由一個螺栓所固定；所述石英內管2里面有所述階梯3；所述冷卻水進水管4在所述不銹鋼外管1的右上方；所述冷卻水出水管5在所述不銹鋼外管1的左下方；廢液出口6在石英內管2的正下部；廢液出口8在石英內管2的正上部。

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