[實用新型]物料接收裝置及MO源精餾裝置

有效

• 申請號: 201820796913.2
• 申請日: 2018-05-25
• 公開（公告）號: CN208553181U
• 公開（公告）日: 2019-03-01
• 發明（設計）人: 黃建;邱曾燁;唐集斌;王志龍;鐘明生
• 申請（專利權）人: 江西佳因光電材料有限公司
• 主分類號: B01D3/14
• 分類號: B01D3/14;B01D3/32
• 代理公司: 北京潤平知識產權代理有限公司 11283
• 代理人: 蔣愛花;李健

本實用新型涉及化工設備技術領域，公開了一種物料接收裝置及MO源精餾裝置。所述物料接收裝置包括：置于惰性氣體環境中用于對液態物料進行冷卻以形成固態物料的接收罐(1)，所述接收罐(1)上設有用于引入液態物料的第一進料口、用于引入對所述液態物料進行冷卻的冷卻介質的第二進料口以及用于排氣的排氣口。本實用新型物料接收裝置直接與產線出來的液態物料相連接，在接收罐中對液態物料進行冷卻凝固后再回收，使得該接收裝置的回收效率高，不會造成接收過程中物料浪費，且能夠防止管路堵塞。此外，接收過程是在惰性氣體環境中進行，極大提高了接收過程的安全性，能夠有效地將物料與空氣隔絕，避免發生泄漏燃燒、造成火災等重大事故的隱患。

技術領域

本實用新型涉及化工設備技術領域，具體地涉及一種物料接收裝置及 MO源精餾裝置。

背景技術

高純金屬有機化合物(MO源)，是采用金屬有機化學氣相沉積(MOCVD) 技術進行外延生長時的支撐材料，如GaAs、GaN、InP、AlGaAs等化合物半導體超薄型膜材料，可用來生產LED外延片、HEMT器件、半導體激光器、太陽能電池等，是發展光電子產業的關鍵材料之一，也是生產高亮度、超高亮度發光材料及大規模集成電路的必備原料。

高純金屬有機化合物是一種具有非常活潑的化學性質的結晶固體，對空氣和水極為敏感，在空氣中會瞬間自燃，遇水則發生猛烈爆炸。目前MO源精餾產線中對MO源接收方式普遍存在接收效率不高、存在安全隱患等問題，比如針對三甲基銦來說，由于三甲基銦在常溫常壓下是結晶的白色固體，接收過程中，直接對固態的三甲基銦產品進行接收，導致這種接收方式效率不高，容易造成管道堵塞，且三甲基銦在凝結成固體顆粒時容易產生結塊和顆粒不均勻的現象，難以滿足產品的實際使用需求。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了克服現有技術存在的MO源產品接收效率不高問題，提供一種物料接收裝置，該裝置回收效率高，不會造成接收過程中物料浪費，且接收過程中能夠有效地將物料與空氣隔絕，避免發生泄漏燃燒、造成火災等重大事故的隱患。

為了實現上述目的，本實用新型一方面提供一種物料接收裝置，包括：置于惰性氣體環境中用于對液態物料進行冷卻以形成固態物料的接收罐，所述接收罐上設有用于引入液態物料的第一進料口、用于引入對所述液態物料進行冷卻的冷卻介質的第二進料口以及用于排氣的排氣口。

優選地，所述第一進料口處設有用于控制液態物料流量的滴頭。

優選地，所述接收罐內設有過濾網，所述過濾網設置在高于所述冷卻介質液面的位置處。

優選地，所述接收罐設置在容納惰性氣體的手套箱中。

優選地，所述第一進料口連接有用于液態的所述物料輸入的第一管路，所述第一管路上設置有第一閥門，所述第二進料口上連接有用于所述冷卻介質輸入的第二管路，所述第二管路上設置有第二閥門，所述排氣口上設置有出氣管路，所述出氣管路上設置有第三閥門。

優選地，所述物料接收裝置還包括控制單元，所述控制單元與所述第一閥門、所述第二閥門和所述第三閥門連接。

優選地，所述接收罐上設有用于感應所述接收罐內部壓力的壓力感應裝置，所述壓力感應裝置與所述控制單元連接。

優選地，所述接收罐上設置有測量所述冷卻介質的量的冷卻介質計量器。

優選地，所述第二管路與盛放液氮的液氮罐連接。

本實用新型第二方面提供一種MO源精餾裝置，包括以上任意所述的物料接收裝置。

通過上述技術方案，本實用新型物料接收裝置直接與產線出來的液態物料相連接，在接收罐中對液態物料進行冷卻凝固后再回收，使得該接收裝置的回收效率高，不會造成接收過程中物料浪費，且能夠防止管路堵塞。此外，接收過程是在惰性氣體環境中進行，極大提高了接收過程的安全性，能夠有效地將物料與空氣隔絕，避免發生泄漏燃燒、造成火災等重大事故的隱患。